MEMS智能傳感器,能讓人與物“對(duì)話”、物與物“互通”,實(shí)現(xiàn)“萬物互聯(lián)”。
位于蚌埠市龍子湖畔的中國(guó)傳感谷,正聚力打造千億級(jí)智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)集群,一群不忘初心、求真務(wù)實(shí)的優(yōu)秀共產(chǎn)黨員科技工作者們,正積極推動(dòng)蚌埠市智能傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。陳博就是其中的一位。
作為中國(guó)三大傳感器研發(fā)制造基地之一,蚌埠在智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展上基礎(chǔ)好、起步早、發(fā)展快,是安徽唯一、全國(guó)為數(shù)不多的同時(shí)擁有集成電路和MEMS晶圓生產(chǎn)線的城市。
“一個(gè)小小的數(shù)據(jù),可能就需要整個(gè)團(tuán)隊(duì)配合才能完成?!卑不毡狈轿㈦娮友芯吭杭瘓F(tuán)有限公司(簡(jiǎn)稱:北方微電子院)高級(jí)工程師陳博,2008年畢業(yè)以后來到蚌埠,長(zhǎng)期從事MEMS工藝制造技術(shù)研究。
據(jù)悉,蚌埠全市智能傳感產(chǎn)業(yè)有200余家相關(guān)企業(yè),其中高新技術(shù)企業(yè)50家,省級(jí)以上專精特新企業(yè)17家,覆蓋產(chǎn)業(yè)上下游各個(gè)環(huán)節(jié),經(jīng)濟(jì)規(guī)??偭砍賰|元。其中,坐落在蚌埠市的北方微電子院,是國(guó)內(nèi)中高端MEMS技術(shù)與產(chǎn)品的頭部企業(yè)。
6月27日上午,剛剛走出實(shí)驗(yàn)室的陳博,身穿實(shí)驗(yàn)操作服、戴著一副半黑框的眼鏡。隨后,他和團(tuán)隊(duì)的小伙伴一起,分析實(shí)驗(yàn)過程中發(fā)現(xiàn)的問題、尋找原因。“一定要找出原因,才能真正吃透、解決問題?!标惒┱f。
2008年,陳博畢業(yè)于吉林大學(xué)應(yīng)用物理學(xué)專業(yè)。今年39歲的他,是一名“老黨員”,黨齡19年。
“在大學(xué)里,我就已經(jīng)加入中國(guó)共產(chǎn)黨?!标惒┱f,革命英雄的事跡和崇高精神將永遠(yuǎn)銘記在人民心中,也是激勵(lì)我們前行的強(qiáng)大力量。
陳博具有豐富的MEMS體硅工藝和MEMS器件工藝流程開發(fā)研究經(jīng)驗(yàn)。近年來,他承擔(dān)的國(guó)家、地方科研項(xiàng)目10余項(xiàng),涉及產(chǎn)品包括MEMS慣性傳感器、光學(xué)MEMS微鏡、MEMS超聲換能器等,廣泛應(yīng)用于我國(guó)國(guó)防工業(yè)領(lǐng)域。
不斷探索、精益求精。成功并非一蹴而就,而是日復(fù)一日的堅(jiān)持、團(tuán)隊(duì)合作的共同努力、堅(jiān)守。
“產(chǎn)品研發(fā)過程中,出現(xiàn)異常,太正常了。我們要做的,就是發(fā)現(xiàn)問題,然后去解決它?!标惒└嬖V記者,作為一名技術(shù)人員,這是他們工作的常態(tài)。發(fā)現(xiàn)了問題,需要組織人員進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析,查找原因,再想解決措施。
功夫不負(fù)有心人。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人,陳博帶領(lǐng)技術(shù)團(tuán)隊(duì),通過堅(jiān)持不懈的努力,突破了多項(xiàng)MEMS體硅加工關(guān)鍵技術(shù)和MEMS器件攻關(guān)研制。近年來,陳博申報(bào)國(guó)家發(fā)明專利20項(xiàng),已獲授權(quán)16項(xiàng),獲得中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)科技進(jìn)步獎(jiǎng)、科技創(chuàng)新獎(jiǎng)、技術(shù)改進(jìn)獎(jiǎng)等獎(jiǎng)項(xiàng)10余項(xiàng)。
“智能汽車就會(huì)用到我們的技術(shù)。”陳博介紹,比如說MEMS掃描鏡,它是小型化MEMS激光雷達(dá)的核心部件,可以大幅降低激光雷達(dá)成本、提高探測(cè)精度、減小體積、實(shí)現(xiàn)自動(dòng)駕駛的快速落地,在自動(dòng)駕駛產(chǎn)業(yè)具有廣闊的市場(chǎng)前景。作為產(chǎn)品負(fù)責(zé)人,陳博帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)突破了MEMS掃描鏡的核心制造技術(shù),實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的批量生產(chǎn)。
正如陳博所言,在這里,大到100多人的大團(tuán)隊(duì),小到不足20人的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì),求真務(wù)實(shí)、學(xué)習(xí)創(chuàng)新氛圍濃厚,一群人在為夢(mèng)想奮斗。