前言

浙江省重點實驗室是浙江省科技創(chuàng)新體系的重要組成部分，是支撐國家戰(zhàn)略和打造浙江科技創(chuàng)新、產業(yè)發(fā)展策源地并舉的高能級科創(chuàng)平臺。7月23日，浙江省科技廳公布2023年第二批全省重點實驗室認定結果，由寧波市科研單位牽頭建設的5家實驗室成功入選。本期讓我們來認識，由西北工業(yè)大學寧波研究院牽頭建設的浙江省高性能MEMS芯片規(guī)模制造技術重點實驗室。

浙江省高性能MEMS芯片規(guī)模制造技術重點實驗室

浙江省高性能MEMS（微機電系統(tǒng)）芯片規(guī)模制造技術重點實驗室由西北工業(yè)大學寧波研究院聯(lián)合寧波博威合金材料股份有限公司、寧波市眼科醫(yī)院共同建設。實驗室由我國微納學科奠基者之一、國家級領軍人才、西北工業(yè)大學教授苑偉政擔任主任，以國家重大需求為導向，開展具有探索性、前沿性、創(chuàng)新性的技術研究，持續(xù)攻關高性能MEMS芯片制造及應用服務難題，為國家航天航空、重大裝備等領域研發(fā)更多高性能傳感器芯片。

實驗室充分發(fā)揮研究團隊在MEMS研究領域30余年的技術積累，面向智能微系統(tǒng)技術的世界科技發(fā)展前沿，圍繞視覺檢測類光學芯片、聽覺檢測類聲學芯片等MEMS高端定制類芯片在規(guī)模化制造過程中的卡脖子技術難題，聚焦MEMS芯片制造過程中涉及的特種濾光器件制造工藝等“標準化”MEMS工藝方案，解決MEMS芯片共性關鍵制造技術難題，顛覆傳統(tǒng)MEMS制造工藝非標冗雜的制造模式，突破高性能MEMS芯片制造技術壁壘。

“傳統(tǒng)的芯片就像是大腦，而MEMS芯片則是五官，這類芯片可實現(xiàn)多項感知功能，是構建智能微系統(tǒng)的重要組成，可用于智能制造、醫(yī)療診斷、無人裝備等眾多領域?！毖芯繄F隊核心成員，西工大寧波研究院智能傳感芯片技術研究中心責任教授虞益挺表示，實驗室面向智能微系統(tǒng)技術的世界科技發(fā)展前沿，打通“需求分析—人才匯聚—技術研發(fā)—成果轉化”路徑，促進人才鏈、創(chuàng)新鏈、產業(yè)鏈深度融合，鍛強技術團隊創(chuàng)新研發(fā)硬實力，打造高水平產學研用科創(chuàng)新平臺?！澳壳拔覀円呀浉鷮幉ㄊ醒劭漆t(yī)院開展合作，將利用光譜成像技術為眼科診療設備裝上自主研制的特種相機，幫助眼底、眼表疾病的早期篩查?！?