電鏡消像散電路（圖5）大致可分為輸入電路，控制板接口電路，計算機控制電路，計算機接口電路，數字鎖存及D/A轉換電路，比較自檢電路，消像散控制電路，消像散驅動電路及消像散線圈等組成，其消像散線圈電流的變化是通過調節(jié)面板上的DFE X Y來控制的。重點在消像散控制電路系統(tǒng)。
【故障排除】：
消像散電路控制電路主要是控制消像散放大電路的輸入通道接受來自計算機的各種控制信號，并執(zhí)行這些信號以達到控制消像散線圈的目的。消像散驅動電路主要是由差分放大電路組成，信號被功率放大直接驅動消像散線圈。先在120KV加速電壓條件下，檢測消像散器及合軸用的各電源電壓，測TP10、TP12電壓為+5V，TP11、TP13為-5V。
再對數據鎖存及D/A轉換電路進行檢測，旋轉控制面板上的SHIFT X順時針方向到底，然后再逆時針方向到底，分別對集成電路IC01A、IC02A、IC03A、IC7及DEF LENS ITF PB的IC3J（7407六緩沖器/驅動器）測量，當檢測到IC03J-8腳電位為0，9腳電位也為0，IC03J有問題，更換一塊7407集成塊，測量IC03J-8腳、9腳電位，調節(jié)OBJ STIG1鍵或OBJ STIG2鍵，變化范圍為X：+2.09V～-1.59V，Y：+1.84V～-1.85V，物鏡消像散電路恢復正常，故障排除。
圖6 JEM-2000EX電鏡消像散電路框圖
故障八（JEM-2000EX）
【故障現(xiàn)象】：
開機2～3秒內自動停機（圖6）。在2～3秒內V15閥放氣，顯示機械泵已工作，V16閥打開，操作面板各鍵指示燈由暗到亮閃爍一下，然后恢復到常態(tài)。
【故障分析】：
出現(xiàn)開機2～3秒內自動停機的原因有如下幾個可能。
① 機械泵供電故障不能啟動，引發(fā)停機。
② 冷卻水壓力不足，壓力繼電器不吸合，S1（RP）、S2（DP）觸點開路，造成停機。
③ 真空測量皮拉尼規(guī)插座松動接觸不良，導致停機。
【故障排除】：
① 在PAGE-3上顯示V15閥亮，檢查PS UNIT F6指示燈亮，確認機械泵供電電路保險絲F6熔斷，機械泵不運轉導致主機停機，更換保險絲主機恢復正常。
② 測量真空系統(tǒng)電路板VAC SYSTEM PB插座CN12的N（RP）和A（DP）由電壓0V變?yōu)?V，說明冷卻水壓力不足，檢查進水壓力偏低，導致停機。重新調節(jié)進水壓力，停機故障排除。
③ 電鏡有四個皮拉尼規(guī)，其中任意一個插座接觸不良都有可能導致停機，檢測真空系統(tǒng)電路板VAC SYSTEM PB插座CN12對應的16腳（PI-2）、18腳（PI-3）、19腳（PI-4）正常均為0V，測17腳（PI-1）為5V不正常，重新插好對應PI-1真空規(guī)插座，測17腳為0V恢復正常，PI-1恢復數字顯示，停機故障排除。
故障九（JEM-2000EX）
【故障現(xiàn)象】：
開機30秒自動停機。
【故障分析】：
機械泵，冷卻水壓力，皮拉尼規(guī)均正常，空壓機壓力是否≥3.2kg，程序進入自檢異常和循環(huán)等待，無法繼續(xù)進行而停機。保護性或意外因素導致停機。
【故障排除】：
① 檢測機械泵（RP）泵單元開關S1無輸出，檢查發(fā)現(xiàn)機械泵空轉，不能抽氣，結果是皮帶常年運行老化了，更換一新皮帶，機械泵恢復正常運行，30秒鐘停機故障排除。
② 檢測VAC SYSTEM PB插座CN12的V腳（DP1）發(fā)現(xiàn)為高電平，擴散泵沒有工作，檢查DP1供電電路保險絲F8熔斷，更換保險絲30秒停機故障排除。
圖7 JEM-2000EX電鏡開機真空系統(tǒng)工作流程圖
故障十（JEM-2000EX）
【故障現(xiàn)象】：
開機由工作狀態(tài)進入停機。
【故障分析】：
電鏡在使用中突發(fā)性停機，大致有以下幾個原因。
① 人為因素造成停機。
② 市電掉電引起停電停機。
③ 冷卻循環(huán)水系統(tǒng)故障引起停機。
【故障排除】：
① 人為誤操作，儀器在使用過程中操作者不慎，未按操作順序進行關機，直接關閉穩(wěn)壓器電源或總電源開關。另外也有可能誤碰倒了鑰匙開關，由NO轉到了OFF位置，造成人為關機。
② 市電停電引起的整機停機，整機停機后，應及時將各調節(jié)旋鈕和相應開關恢復到初始狀態(tài)，停機休息一段時間后。供電恢復電后，在各外圍設備無異常情況下，可以重新開機恢復正常運行。
③ 瞬時閃停造成的停機，瞬時閃停表現(xiàn)為照明燈瞬時閃爍，高壓丟失，束電流歸零，各別閥門動作紊亂，V15閥自動打開放氣，機械泵停止運轉等，嚴重時對儀器的某些部件會造成損壞。對于發(fā)生整機停機可以重新開機即可。對于部分停機（死機狀態(tài)）如計算機軟件程序中斷停機，可重啟計算機執(zhí)行完程序后，進行二次開機，在開機過程中要隨時注意儀器運行狀態(tài)，如有異常及時檢查并維修儀器。
