前言

日本電子JEM-1200EX/2000EX透射電子顯微鏡是我國八十年代較早引進的先進的大型精密儀器，對各種固體材料的微觀形貌和結(jié)構(gòu)進行觀察和分析，對固體材料的元素組成進行定性和定量分析。廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)礦產(chǎn)等方面，為我國的大專院校、科研機構(gòu)、科學(xué)院所、工礦企業(yè)的科學(xué)研究和產(chǎn)品生產(chǎn)做出了不小的貢獻。

JEM-1200EX透射電鏡（圖1）是比較典型的大型精密儀器產(chǎn)品，該產(chǎn)品體積較大，結(jié)構(gòu)繁瑣，電路復(fù)雜，布局零散，輔助設(shè)備多，在使用過程中總體性能還是相當穩(wěn)定的，但是由于工作年限較長，儀器發(fā)生過一些故障，下面現(xiàn)將出現(xiàn)過的一些故障維修案例進行精煉匯編，介紹給版友們及同行參考。JEM-2000EX型電鏡與JEM-1200EX型電鏡差別不大，維修方法大同小異，可相互參考。

圖1 JEM-1200EX透射電子顯微鏡主機外觀圖

1、真空系統(tǒng)

故障一（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

正常開機，只有V1閥～V3閥打開，其他閥均處于關(guān)閉狀態(tài)。一般情況下，開機30～40分鐘左右，真空圖標顯示V1閥～V6閥打開，V12閥、V13閥打開，此時其他閥未打開，說明儀器不正常。再次開機偶爾可聽見鏡體內(nèi)有異常聲音，屏幕提示PI-1：253，PI-2：187，PI-3：232，PI-4：126，此時V2閥、V3閥處于關(guān)閉狀態(tài)。檢查空壓機，壓力為3.65kg/cm2偏低。

【故障分析】：

分析氣閥壓力不足，導(dǎo)致氣閥開關(guān)不穩(wěn)定。

【故障排除】：

打開空壓機，壓力加至4.8kg/cm2，再次開機，抽真空正常，各閥按儀器順序正常打開和關(guān)閉，儀器恢復(fù)正常運行。

故障二（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

打開電源啟動儀器，機械泵旋轉(zhuǎn)一周，然后迅速停止。

【故障分析】：

從故障現(xiàn)象分析，機械泵能旋轉(zhuǎn)一周，說明啟動電源沒有問題，機械泵旋轉(zhuǎn)要靠啟動感應(yīng)傳感器來維持旋轉(zhuǎn)，問題可能在傳感器及控制系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)未發(fā)現(xiàn)異常。

【故障排除】：

用備件傳感器更換，開機故障不變，因此重點放在檢查控制系統(tǒng)，打開控制系統(tǒng)檢查發(fā)現(xiàn)內(nèi)部很潮濕，部分機械部件已生銹，問題根源應(yīng)該就在于此。取下生銹部件進行除銹清洗，烘干并加一些潤滑脂防銹，清理控制器內(nèi)部潮濕區(qū)域，安裝復(fù)原修理部件，通電開機機械泵恢復(fù)正常旋轉(zhuǎn)，故障排除。

小結(jié)：分析原因機械部件生銹導(dǎo)致機械動作受阻，使機械泵啟動困難被憋死，傳感器無感應(yīng)信號最后保護電路動作，切斷工作電源。

故障三（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機抽真空機械泵（RP）運行正常，30秒后V12閥打開，隨即幾秒鐘后V12閥又關(guān)閉，機械泵停止保護狀態(tài)，5分鐘后儀器自動關(guān)機，無法工作。

【故障分析】：

儀器自動關(guān)機，說明某處異常進入保護狀態(tài)，循環(huán)水系統(tǒng)，空壓機系統(tǒng)，真空抽取系統(tǒng)都是重點檢查對象。

【故障排除】：

檢查循環(huán)水水溫、水流量正常。

檢查空壓機運行正常，壓力指示正常。

檢查負責低真空的機械泵（RP）運行正常。

檢查負責高真空的擴散泵（DP）情況，打開擴散泵發(fā)現(xiàn)加熱盤（爐）是冷的，用萬用表測量內(nèi)部加熱絲已燒斷（正常為65歐左右），說明加熱盤已損壞。更換備用加熱盤，安裝復(fù)原擴散泵，檢查各部件及接線無誤后，重新開機經(jīng)過40分鐘運行，各真空參數(shù)恢復(fù)正常，各閥門也按順序正常打開，儀器恢復(fù)正常工作。

小結(jié)：擴散泵加熱盤（爐）連續(xù)工作時間較長，加熱絲容易燒斷，需要經(jīng)常檢查和維護，損壞后及時更換。

故障四（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機前面抽真空一切正常，當進行到打開V6a閥抽電照相真空時，結(jié)果真空度下降，V6a閥無法打開，自動回到前一級抽真空，反復(fù)循環(huán)真空度始終上不去。

【故障分析】：

由于前面抽真空沒有發(fā)現(xiàn)問題，在進行照相室抽真空時，真空度下降，分析照相室有可能存在泄漏。進行真空度泄漏檢測，結(jié)果照相室泄漏最快，由此判斷照相室確實存在泄漏。

【故障排除】：

照相室結(jié)構(gòu)復(fù)雜，密封口較多，查找漏點較為困難。因此，根據(jù)先易后難的原則逐步檢查和排除故障部位。

1、清洗照相時門邊框及密封條，重新涂抹密封脂，開機故障不變。

2、清洗前端大觀察窗和兩側(cè)小觀察窗及密封條，重新涂抹密封脂，開機故障不變。

3、清洗照相室底部掃描附件，重新涂抹密封脂，故障不變。

4、檢查小熒光屏扳手組件密封情況，組件結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不好隨意拆卸檢查，臨時加工一個部件代替組件，開機故障不變。說明組件無泄漏問題，換回組件，重新涂抹密封脂。

5、檢查V3閥、V9閥真空泄漏率，工作正常未發(fā)現(xiàn)泄漏，