傳感器對(duì)某一物理量的準(zhǔn)確程度取決于傳感器的性能指標(biāo)。為了確定傳感器的測(cè)量范圍、準(zhǔn)確性,必須對(duì)傳感器的性能指標(biāo)進(jìn)行測(cè)試。對(duì)新研制的傳感器,必須進(jìn)行全面的技術(shù)性能的測(cè)試和校準(zhǔn),用測(cè)試和校準(zhǔn)的數(shù)據(jù)確定其測(cè)試范圍、準(zhǔn)確程度。
對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)型的傳感器,用校準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行量值傳遞。這些測(cè)試數(shù)據(jù),既是衡量傳感器好壞的依據(jù),也是改進(jìn)傳感器設(shè)計(jì)和工藝的依據(jù)。傳感器經(jīng)過一段時(shí)間儲(chǔ)存或使用后,性能指標(biāo)是會(huì)發(fā)生變化的,因此對(duì)傳感器的性能指標(biāo)要定期進(jìn)行復(fù)測(cè)。對(duì)一些重要的試驗(yàn)和測(cè)試,試驗(yàn)前也要進(jìn)行性能指標(biāo)的復(fù)測(cè),做到心中有數(shù)。衡量傳感器基本性能的主要指標(biāo)分為靜態(tài)相應(yīng)特性、動(dòng)態(tài)相應(yīng)特性及環(huán)境特性。靜態(tài)相應(yīng)特性包括:靈敏度、重復(fù)性、非線性、遲滯、分辨率、穩(wěn)定性。動(dòng)態(tài)相應(yīng)特性包括幅頻特性、相頻特性、固有頻率、阻尼比、時(shí)間常數(shù)、上升時(shí)間。環(huán)境特性包括:溫度相應(yīng)、聲靈敏度、磁場(chǎng)靈敏度、橫向靈敏度、基礎(chǔ)應(yīng)變靈敏度。對(duì)不同類型的傳感器,上述各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)的重要程度視傳感器的不同或使用者的要求不同而有很大的差異,因而很難籠統(tǒng)地說那個(gè)指標(biāo)最重要。另外,作為環(huán)境特性,也是隨著傳感器變化的。
傳感器的性能測(cè)試就是通過各種試驗(yàn)建立傳感器的輸入量和輸出量之間的關(guān)系,確定出傳感器在不同使用條件下的誤差關(guān)系。性能測(cè)試的基本方法是利用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備產(chǎn)生已知的非電量(如標(biāo)準(zhǔn)力、壓力、位移、速度、加速度、溫度、流量等)作為輸入量,輸入到待測(cè)試的傳感器中,通過測(cè)試系統(tǒng),得到傳感器的輸出量。對(duì)傳感器的輸出量與輸入的標(biāo)準(zhǔn)量按照規(guī)定的方法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,從而得到一系列性能測(cè)試數(shù)據(jù),這些數(shù)據(jù)就作為傳感器的技術(shù)指標(biāo)。
為了保證對(duì)各種物體量、化學(xué)量測(cè)量的一致性和準(zhǔn)確性,國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO下設(shè)多個(gè)專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)。我國歸口于國家技術(shù)監(jiān)督局。