近日，廣州五所環(huán)境儀器有限公司牽頭主持的國家重點研發(fā)計劃“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)”重點專項“半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測試儀”項目啟動會暨實施方案論證會在電子五所廣州增城總部順利召開。項目專家組7位專家現(xiàn)場出席會議，工業(yè)和信息化部高新技術(shù)司未來產(chǎn)業(yè)處和項目管理單位中國21世紀(jì)議程管理中心領(lǐng)導(dǎo)，電子五所黨委書記恩云飛、有關(guān)部門負(fù)責(zé)人，項目負(fù)責(zé)人、各課題負(fù)責(zé)人與項目組骨干等40余人參加了此次會議。

圖1 項目啟動會暨實施方案論證會會議現(xiàn)場

本項目匯聚了工業(yè)和信息化部電子第五研究所、廣州五所環(huán)境儀器有限公司、博測銳創(chuàng)半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司、中國科學(xué)院電工研究所、合肥工業(yè)大學(xué)、西安交通大學(xué)、電子科技大學(xué)、北京智芯微電子有限公司等八家高校、研究所和重點企業(yè)的優(yōu)秀研究人員，我所重點實驗室陳媛研究員任項目負(fù)責(zé)人。半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測試儀是對半導(dǎo)體功率器件進行電學(xué)性能參數(shù)測試的硬件和軟件一體化的設(shè)備。隨著我國電動汽車、軌道交通、電網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對高性能和高效能的半導(dǎo)體功率器件特別是SiC、GaN、Ga2O3等寬禁帶半導(dǎo)體器件有著巨大的需求，寬禁帶半導(dǎo)體功率器件具有擊穿電壓更高、電流能力更強、開關(guān)速度更快等工作特點，對半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測試儀的性能指標(biāo)提出了更高的要求。目前，國外kV/kA級的半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測試儀主要被美國、日本等國外廠商所壟斷，國內(nèi)部分廠家近年來也開始自主研發(fā)生產(chǎn)，但儀器的性能指標(biāo)、精度水平、可靠性及穩(wěn)定性普遍落后于國外儀器。本項目旨在開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測試儀，實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。

此次會議圓滿落幕之后，各承研單位之間將更加緊密地合作，實現(xiàn)優(yōu)勢互補，協(xié)調(diào)共進，力求高質(zhì)量完成項目各項研究任務(wù)。

圖2  項目組向?qū)＜医M介紹綜合測試儀的原型樣機

圖3  項目啟動會暨實施方案論證會合影