講述人：華中科技大學機械科學與工程學院教授、博士生導師 陳蓉

實現(xiàn)納米尺度下的精密制造，是世界級難題，也是我一直以來追趕的目標。 “底部的世界大有可為”，追求極致的道路是永無止境的，我一直以“精益求精”來要求自己，去最細微處追尋科學之美。

從美國硅谷到中國光谷，歸國這十余年，我和我的團隊主攻納米制造，具體就是在毫米的百萬分之一尺度下那些原子的性質與變化。在這樣小的空間里，肉眼不可見，手指觸不著，我們需要借助先進的探測手段去觀測它們。但是光探測還不夠，更難的地方還在于要實現(xiàn)精準的操控。我們實現(xiàn)納米甚至原子尺度下精確制造的方法叫作選擇性原子層沉積技術，可以這么理解：原子層沉積就像搭積木一樣，通過物質表面與反應物分子發(fā)生反應和原子替換，從而實現(xiàn)原子如同積木一層一層搭上去的效果，精度可達到埃米（10-10米）級，如今已成為微納制造研究的熱點之一；而選擇性原子層沉積技術則更進一步，只在特定表面、特定位置發(fā)生“原子積木”的搭建，其他表面維持原狀，從而有望實現(xiàn)自下而上搭建納米器件的終極夢想，為半導體行業(yè)向更小尺寸工藝的突破另辟蹊徑。

我非常有幸見證并經歷了原子層沉積技術從基礎研究到產業(yè)應用的過程，并“從一而終”。想當初，我的博士課題就是原子層沉積技術在芯片中的高介電常數(shù)材料/金屬柵極工藝中的應用；博士畢業(yè)后去了英特爾公司從事相關研究工作，并在2007年參與這項技術應用于45納米半導體芯片制程，這也是選擇性原子層沉積在全球范圍內首次技術應用；回國后，我聚焦芯片，經歷無數(shù)次實驗嘗試后，我們團隊發(fā)現(xiàn)了固有選擇性沉積這一路線能進一步簡化工藝步驟并提升精度，屬國際上獨立發(fā)現(xiàn)。目前該技術已經引起了其他領域的重視和應用，如光伏太陽能板、光學鏡頭鍍膜等，并已初步實現(xiàn)產業(yè)化論證。

我一直認為，科技創(chuàng)新是我們謀在長遠、干在當下、贏在未來的戰(zhàn)略之舉，破解“卡脖子”難題，填補國內空白領域，為國家科技與經濟發(fā)展做貢獻，把論文和成果書寫在祖國大地上，是作為一名科技工作者對于祖國、社會和人民的責任義務和使命擔當。正是在這樣的信念的感召下，在“科學家精神”的指引下，我一直深耕于微納制造的前沿交叉領域，圍繞集成電路、高端顯示、運載動力等產業(yè)應用需求，開展原子尺度協(xié)同制造工藝與裝備研究。為了盡早實現(xiàn)工藝產業(yè)化，創(chuàng)造社會價值，我們團隊在國家重點研發(fā)計劃顛覆性技術創(chuàng)新重點專項項目“面向芯片先進制程的選擇性原子層沉積工藝與裝備研發(fā)”支持下，正在積極開發(fā)選擇性沉積設備，以在芯片領域早日投產。該工藝在國際上非常前沿，我有信心能在選擇性原子沉積領域位列國際第一方陣，在國家高水平自立自強的道路上貢獻一份力量。

我是一名科技工作者，也是一名高校教師，承擔三門本科生、一門研究生課程，承擔湖北省本科教改項目“面向新工科的納米制造系列課程體系建設”。作為導師，我經常跟我的學生說：要以勤奮為基，勇?lián)姑?，學會通過科學的知識和理性的思考對待學習和工作，以赤誠之心和實際行動回報祖國和社會。

強國建設、民族復興的宏偉目標催人奮進，“半邊天”大有可為。作為人們眼中的“女科學家”“女博導”，我很高興地看到越來越多的女性成為攀登科技高峰的領路人、生力軍。我將牢記囑托擔當使命，爭做時代的書寫人、追夢的奮斗者，和中國廣大女性科研工作者一道，在國家重大需求等領域綻放巾幗力量。

（光明日報全媒體記者王建宏 張銳 采訪整理）