工作中的甘肅省科學院傳感技術研究所副所長：宋玉哲

現(xiàn)任甘肅省科學院傳感技術研究所副所長的宋玉哲，畢業(yè)時正值該院傳感技術研究所的轉型期和瓶頸期，急需能夠從事敏感材料的制備及其傳感性能研究方面的專業(yè)人才。

憑借身上那股不服輸?shù)暮輨艃?，在堆積如山的學術書籍和成百上千次的實驗中取得了滿意的成果。他的同事們也經常說，這項研究太難了，國內也沒幾個能搞出來，都勸她不要那么拼命。對此，她總是微微笑道，“科研工作沒有豪言壯語和遠大的理想抱負，有的只是踏踏實實、兢兢業(yè)業(yè)的工作態(tài)度和工作作風” 。

圖為宋玉哲在超凈間工作

2011年，在她的努力和帶領下確立了“MEMS傳感器”的研究方向，成立了MEMS研究室，從實驗室的規(guī)劃建設，到前端自旋閥、磁隧道結的研制，直至成功研發(fā)出MEMS傳感器，前后堅持了近6年。MEMS傳感器的研發(fā)成功，不僅僅只是一款傳感器的成果而已，而是標志著傳感所打通了所有巨磁阻MEMS傳感器的基本流程和基本工藝，為后期其它MEMS傳感器的研制奠定了基礎。

近年來，傳感所以巨磁阻傳感器的研制為MEMS傳感器的研發(fā)突破口，不斷擴展研究領域，宋玉哲著力于具有巨磁阻效應的自旋閥和磁隧道結的研制，這兩類晶圓是巨磁阻傳感器研發(fā)最前端的關鍵環(huán)節(jié)，該技術被跨國公司長期壟斷，是國內亟需解決的行業(yè)關鍵技術。

研制自旋閥的期間，恰逢宋玉哲的哺乳期，但她依舊克服了諸多困難，和研究室人員一起不分黑白和節(jié)假日的進行技術攻關，從設備磨合和修正，到巨磁阻理論研究和制備技術研究，終于獲得了制備工藝穩(wěn)定、性能參數(shù)優(yōu)良、達到國際先進水平的自旋閥晶圓。

宋玉哲孩子出生后剛過哺乳期，因為研發(fā)國產磁隧道結項目的迫切需要，在科研和家庭之間，她帶著依依不舍的留戀，毅然投入到了項目的研發(fā)，將孩子托付給家里的老人照看，赴美國進行歷時9個月的培訓和技術深造。回國以后，宋玉哲成功實現(xiàn)了國際領先的磁隧道結的制備。自旋閥和磁隧道結的成功研制，為后期巨磁阻MEMS傳感器的研制奠定了基礎。宋玉哲經常給同事說：“對家里的老人和孩子，有時候心里也挺慚愧，但是一想到自己所從事的研究，會解決部分行業(yè)關鍵技術，心里也就好受多了”。

在進行自旋閥和磁隧道結攻關的同時，宋玉哲又帶領研究室人員馬不停蹄的投入到了百級潔凈實驗室的建設，從爭取實驗室的建設經費，到實驗室的規(guī)劃和設計，建設的招標和各類程序，乃至實驗室的建設和運行，不敢有絲毫馬虎。最終，用了2年的時間就建成了國內先進的百級超凈實驗室，保障了后續(xù)MEMS工藝的環(huán)境條件，建立了一條國際先進的MEMS傳感器研發(fā)線。

隨后，在建設百級潔凈實驗室和購置儀器設備的基礎上，她又帶領研究室科研人員進行了MEMS的工藝技術攻關，打通了MEMS工藝的流程參數(shù)，完成第一款MEMS傳感器-轉速傳感器芯片的研發(fā)，相繼研制出了巨磁阻MEMS磁場傳感器。

一路走來，宋玉哲主持和參加了20余項課題的研究工作，發(fā)表科技論文30余篇，申請美國發(fā)明專利和中國發(fā)明專利共6項，獲甘肅省科技進步三等獎3項，“甘肅省三八紅旗手”1項。