2023年1月，某超小型MEMS壓力傳感器芯片成功研制，器件技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平，為解決該項技術(shù)的“卡脖子”問題、實現(xiàn)產(chǎn)品自主可控邁出了堅實的一步。作為技術(shù)團隊的負(fù)責(zé)人，57歲的北京大學(xué)集成電路學(xué)院教授級高級工程師高成臣倍感欣慰。他帶領(lǐng)團隊克服了研制難度大、配套實驗?zāi)芰Σ蛔愕壤щy，最終不負(fù)所托，給用戶交出了令人滿意的答卷。高成臣躬耕傳感器制備和研究35年，不斷追求完美，突破了一項又一項技術(shù)難關(guān)。
關(guān)鍵詞:MEMS 壓力傳感器 聲矢量傳感器技術(shù) 瀏覽量：15971
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