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【應(yīng)用分享】流量校準(zhǔn)系統(tǒng)在質(zhì)量流量測(cè)量中的應(yīng)用


  來(lái)源: 福祿克公司 時(shí)間:2022-08-24 編輯:清風(fēng)
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流量的精準(zhǔn)測(cè)量和控制對(duì)于半導(dǎo)體和氫能源等工業(yè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用要求。各種質(zhì)量流量計(jì),質(zhì)量流量控制器參與到各個(gè)工藝過(guò)程中,控制著各種不同的氣體流量,精確的進(jìn)行各種化學(xué)反應(yīng),實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的產(chǎn)品生產(chǎn)和高效率的化學(xué)反應(yīng)。


在半導(dǎo)體的生產(chǎn)工藝中,針對(duì)不同的工藝階段,需要用到各種高純特種氣體,比如摻雜工藝中有砷烷,三氟化磷,乙硼烷等,外延工藝中有四氯化碳,硅烷等,離子注入過(guò)程中的各種磷系,砷系和硼系氣體等,蝕刻和化學(xué)氣相沉積中用到的各種氟化物氣體等。


在這些工藝中需要高純度的氣體和精準(zhǔn)的流量控制,通常由集成供氣系統(tǒng)(IGS)來(lái)控制和分配, 集成供氣系統(tǒng)由諸多的質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器,壓力傳感器和各種調(diào)節(jié)閥等組成。其中的質(zhì)量流量計(jì)(MFM)/質(zhì)量流量控制器(MFC)對(duì)于氣體的控制尤為重要,需要時(shí)刻保證精準(zhǔn)可靠的控制。


在氫能源的應(yīng)用中,氫燃料電池技術(shù)作為氫能源在發(fā)電,汽車等領(lǐng)域的應(yīng)用方向,在近些年發(fā)展越來(lái)越成熟。


氫燃料電池是將氫氣和氧氣反應(yīng)的化學(xué)能轉(zhuǎn)換為電能的發(fā)電裝置,能源利用效率能達(dá)到50%以上, 基本原理是將氫氣送到燃料電池的陽(yáng)極板(負(fù)極),經(jīng)過(guò)催化劑(鉑)的作用,氫原子中的電子被分離出來(lái),失去電子的氫離子(質(zhì)子)穿過(guò)質(zhì)子交換膜,到達(dá)燃料電池陰極板(正極),而電子只能經(jīng)外部電路,到達(dá)燃料電池陰極板,從而在外電路中產(chǎn)生電流。質(zhì)子到達(dá)陰極板后,與氧原子和氫離子重新結(jié)合為水。


氫燃料電池系統(tǒng)主要由電堆和系統(tǒng)部件組成,電堆是整個(gè)電池系統(tǒng)的核心組件,主要由膜電極等構(gòu)成的電池單元組成。電池系統(tǒng)部件主要由氫氣供氣系統(tǒng),水管理系統(tǒng)和空氣管理系統(tǒng)等組成。氫氣供氣系統(tǒng)負(fù)責(zé)實(shí)時(shí)控制氫氣的流量,提高氫氣的利用效率,水管理系統(tǒng)負(fù)責(zé)處理反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生的水,同時(shí)負(fù)責(zé)控制電堆系統(tǒng)的水含量,保障反應(yīng)的正常進(jìn)行,提高氫氣利用效率??諝夤芾硐到y(tǒng)負(fù)責(zé)提供反應(yīng)所需的氧化劑(氧氣)。



在這些系統(tǒng)中,氫氣和空氣管理系統(tǒng)都需要準(zhǔn)確的控制流量和壓力,從而實(shí)現(xiàn)最高效率的能源轉(zhuǎn)換。


流量的測(cè)量和控制離不開(kāi)各種質(zhì)量流量計(jì)和控制器,而對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)和控制器的高效而準(zhǔn)確的校準(zhǔn)顯得尤為的關(guān)鍵。


Fluke molbloc/molbox1+ 氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)可用來(lái)校準(zhǔn)質(zhì)量流量計(jì),質(zhì)量流量控制器,轉(zhuǎn)子流量計(jì)等氣體流量產(chǎn)品,支持多種氣體校準(zhǔn),包括空氣,氮?dú)?,氫氣,SF6, 氦氣等18種氣體,同時(shí)還支持客戶自定義系數(shù)轉(zhuǎn)換,充分滿足半導(dǎo)體和氫能源等應(yīng)用領(lǐng)域的各種氣體校準(zhǔn)需求。適用于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的生產(chǎn)校準(zhǔn),也可以應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室和產(chǎn)線的工藝參數(shù)優(yōu)化和調(diào)整。



molbloc/molbox1+ 氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)



?最優(yōu)不確定度可達(dá)0.125%讀數(shù),可覆蓋大多數(shù)精度等級(jí)的流量計(jì)校準(zhǔn)要求

?較寬的量程范圍比,層流模塊支持從最低的10sccm到100slm,音速噴嘴模塊最大可以支持到5000slm

?測(cè)量達(dá)到1秒1個(gè)讀數(shù),高效快捷校準(zhǔn)各種流量產(chǎn)品

?自帶的流量積算功能,可以實(shí)現(xiàn)周期內(nèi)的流量統(tǒng)計(jì)

?可選搭配COMPASS軟件,實(shí)現(xiàn)流量校準(zhǔn)調(diào)整等自動(dòng)控制要求。


COMPASS® for Flow



基于 COMPASS for Pressure 軟件平臺(tái),是可定制且啟用了宏的質(zhì)量流量校準(zhǔn)軟件包。

?可執(zhí)行復(fù)雜的實(shí)時(shí)流量計(jì)算以及根據(jù)數(shù)據(jù)改變測(cè)試方案

?提供測(cè)試設(shè)置下的整套裝置、測(cè)試設(shè)置和報(bào)告生成工具


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