流量的精準(zhǔn)測(cè)量和控制對(duì)于半導(dǎo)體和氫能源等工業(yè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用要求。各種質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器參與到各個(gè)工藝過(guò)程中，控制著各種不同的氣體流量，精確的進(jìn)行各種化學(xué)反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的產(chǎn)品生產(chǎn)和高效率的化學(xué)反應(yīng)。

在半導(dǎo)體的生產(chǎn)工藝中，針對(duì)不同的工藝階段，需要用到各種高純特種氣體，比如摻雜工藝中有砷烷，三氟化磷，乙硼烷等，外延工藝中有四氯化碳，硅烷等，離子注入過(guò)程中的各種磷系，砷系和硼系氣體等，蝕刻和化學(xué)氣相沉積中用到的各種氟化物氣體等。

在這些工藝中需要高純度的氣體和精準(zhǔn)的流量控制，通常由集成供氣系統(tǒng)（IGS）來(lái)控制和分配， 集成供氣系統(tǒng)由諸多的質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，壓力傳感器和各種調(diào)節(jié)閥等組成。其中的質(zhì)量流量計(jì)（MFM）/質(zhì)量流量控制器（MFC）對(duì)于氣體的控制尤為重要，需要時(shí)刻保證精準(zhǔn)可靠的控制。

在氫能源的應(yīng)用中，氫燃料電池技術(shù)作為氫能源在發(fā)電，汽車等領(lǐng)域的應(yīng)用方向，在近些年發(fā)展越來(lái)越成熟。

氫燃料電池是將氫氣和氧氣反應(yīng)的化學(xué)能轉(zhuǎn)換為電能的發(fā)電裝置，能源利用效率能達(dá)到50%以上， 基本原理是將氫氣送到燃料電池的陽(yáng)極板（負(fù)極），經(jīng)過(guò)催化劑（鉑）的作用，氫原子中的電子被分離出來(lái)，失去電子的氫離子（質(zhì)子）穿過(guò)質(zhì)子交換膜，到達(dá)燃料電池陰極板（正極），而電子只能經(jīng)外部電路，到達(dá)燃料電池陰極板，從而在外電路中產(chǎn)生電流。質(zhì)子到達(dá)陰極板后，與氧原子和氫離子重新結(jié)合為水。

氫燃料電池系統(tǒng)主要由電堆和系統(tǒng)部件組成，電堆是整個(gè)電池系統(tǒng)的核心組件，主要由膜電極等構(gòu)成的電池單元組成。電池系統(tǒng)部件主要由氫氣供氣系統(tǒng)，水管理系統(tǒng)和空氣管理系統(tǒng)等組成。氫氣供氣系統(tǒng)負(fù)責(zé)實(shí)時(shí)控制氫氣的流量，提高氫氣的利用效率，水管理系統(tǒng)負(fù)責(zé)處理反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生的水，同時(shí)負(fù)責(zé)控制電堆系統(tǒng)的水含量，保障反應(yīng)的正常進(jìn)行，提高氫氣利用效率?？諝夤芾硐到y(tǒng)負(fù)責(zé)提供反應(yīng)所需的氧化劑（氧氣）。

在這些系統(tǒng)中，氫氣和空氣管理系統(tǒng)都需要準(zhǔn)確的控制流量和壓力，從而實(shí)現(xiàn)最高效率的能源轉(zhuǎn)換。

流量的測(cè)量和控制離不開(kāi)各種質(zhì)量流量計(jì)和控制器，而對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)和控制器的高效而準(zhǔn)確的校準(zhǔn)顯得尤為的關(guān)鍵。

Fluke molbloc/molbox1+ 氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)可用來(lái)校準(zhǔn)質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器，轉(zhuǎn)子流量計(jì)等氣體流量產(chǎn)品，支持多種氣體校準(zhǔn)，包括空氣，氮?dú)?，氫氣，SF6， 氦氣等18種氣體，同時(shí)還支持客戶自定義系數(shù)轉(zhuǎn)換，充分滿足半導(dǎo)體和氫能源等應(yīng)用領(lǐng)域的各種氣體校準(zhǔn)需求。適用于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的生產(chǎn)校準(zhǔn)，也可以應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室和產(chǎn)線的工藝參數(shù)優(yōu)化和調(diào)整。

molbloc/molbox1+ 氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)

?最優(yōu)不確定度可達(dá)0.125%讀數(shù)，可覆蓋大多數(shù)精度等級(jí)的流量計(jì)校準(zhǔn)要求

?較寬的量程范圍比，層流模塊支持從最低的10sccm到100slm，音速噴嘴模塊最大可以支持到5000slm

?測(cè)量達(dá)到1秒1個(gè)讀數(shù)，高效快捷校準(zhǔn)各種流量產(chǎn)品

?自帶的流量積算功能，可以實(shí)現(xiàn)周期內(nèi)的流量統(tǒng)計(jì)

?可選搭配COMPASS軟件，實(shí)現(xiàn)流量校準(zhǔn)調(diào)整等自動(dòng)控制要求。

COMPASS® for Flow

基于 COMPASS for Pressure 軟件平臺(tái)，是可定制且啟用了宏的質(zhì)量流量校準(zhǔn)軟件包。

?可執(zhí)行復(fù)雜的實(shí)時(shí)流量計(jì)算以及根據(jù)數(shù)據(jù)改變測(cè)試方案

?提供測(cè)試設(shè)置下的整套裝置、測(cè)試設(shè)置和報(bào)告生成工具