【基本原理】 |
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【規(guī)格指標(biāo)】 (2)能夠檢測硅片各種缺陷,包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP; 關(guān)鍵詞: 瀏覽量:836 聲明:凡本網(wǎng)注明"來源:儀商網(wǎng)"的所有作品,版權(quán)均屬于儀商網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編使用。
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