在上海嘉定工業(yè)區(qū)，近5000平方米的高等級微納加工超凈廠房內(nèi)，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡稱“工研院”）與國際領(lǐng)先的晶圓廠密切合作構(gòu)建的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線上，正“跑”著數(shù)十片晶圓。

晶圓加工設(shè)備

9月10日，由工研院建設(shè)的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線正式啟動，填補了我國微機電系統(tǒng)智能傳感器領(lǐng)域缺乏小批量中間性試驗生產(chǎn)線的空白。

8英寸研發(fā)中試線的啟動，不僅實現(xiàn)了從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接，更豐富完整了國內(nèi)的“超越摩爾”生態(tài)鏈，是對標(biāo)國際產(chǎn)業(yè)競爭的關(guān)鍵一環(huán)。

晶圓加工設(shè)備

中國科協(xié)副主席、中國科學(xué)院院士王曦解釋說，“超越摩爾”指的是不再只遵循摩爾定律，在半導(dǎo)體工藝尺寸上越做越小，而是在成熟的工藝生產(chǎn)線上，研發(fā)非數(shù)字、多元化半導(dǎo)體技術(shù)與產(chǎn)品?！俺侥枴睂⒉辉倬窒抻谝揽砍叽绺淖?nèi)ネ七M集成電路制程節(jié)點，更重視材料、工藝、結(jié)構(gòu)等多維度的創(chuàng)新，從而實現(xiàn)傳感器等其他新興技術(shù)領(lǐng)域“換道超車”。

傳感器，位于整個物聯(lián)網(wǎng)的基礎(chǔ)層，是數(shù)據(jù)采集的入口，也是物聯(lián)網(wǎng)的基石。然而代工廠不愿接，小批量中試無處可做，成為我國傳感器等微機電系統(tǒng)研發(fā)機構(gòu)的一大共性難題。8英寸研發(fā)中試線運營副總裁、廠長游家杰表示，當(dāng)前我國約60%的傳感器都是靠進口，缺口很大，尤其是微機電系統(tǒng)智能傳感器，幾乎全部依賴進口。

目前，在“超越摩爾”領(lǐng)域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產(chǎn)線，貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)的上海微技術(shù)工業(yè)研究院8英寸線是公認(rèn)的領(lǐng)先技術(shù)。據(jù)相關(guān)人士透露，整個生產(chǎn)線建造投入近10億元，目前一期3000平方米已投入使用。

據(jù)悉，8英寸研發(fā)中試線將專注于“超越摩爾”傳感器產(chǎn)品技術(shù)的開發(fā)，可以全面開展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設(shè)備。作為國內(nèi)第一條先進8英寸研發(fā)中試線，不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實現(xiàn) “超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接。

游家杰介紹，新建成的研發(fā)中試線，目前規(guī)定產(chǎn)能是每月生產(chǎn)3000片左右晶圓，后期將達到5000片?！拔覀兛梢灾斡脩魪膸装倨缴锨漠a(chǎn)能需求，小規(guī)模訂單先在中試線上孵化，一旦前期市場測試成功，就可以把大批量訂單轉(zhuǎn)移給大型代工廠，開始規(guī)模量產(chǎn)。”