MEMS傳感器從誕生到現(xiàn)在已經(jīng)有40多年的歷史，并且已經(jīng)成為國內(nèi)傳感器企業(yè)爭相追逐的目標(biāo)之一。雖然國外先行一步，但是國內(nèi)傳感器企業(yè)和MEMS工藝主流生產(chǎn)線也在逐步浮出水面，且為國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展助一臂之力。

下面盤點(diǎn)目前公開信息可查的本土主要的MEMS產(chǎn)線，涵蓋晶圓代工廠和IDM產(chǎn)線的最新情況跟蹤如下（排名不分先后）：

1、上海微技術(shù)工研院——國內(nèi)首條8吋“超越摩爾”研發(fā)中試線

2017年12月1日，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡稱“工研院”）運(yùn)營的8吋“超越摩爾” 研發(fā)中試線首款傳感器產(chǎn)品獲得驗(yàn)證通過，正式宣告研發(fā)中試線通線成功。

圖：上海微技術(shù)工研院8吋 “超越摩爾” 研發(fā)中試線

研發(fā)中試線著重開展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設(shè)備，提供全方位的產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)，月產(chǎn)能5千片。

2、蘇州納米城——6吋MEMS中試線

該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項(xiàng)目。2014年9月正式運(yùn)營，為我國中小MEMS企業(yè)的發(fā)展帶來福音。超凈場地、廠務(wù)配套設(shè)施、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、公共服務(wù)等場地共16000平方米，其中超凈工藝場地5200平方米。

其主要開展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專利運(yùn)營、設(shè)備租賃、超凈場地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品。

3、蘇州納米所——納米加工平臺

納米加工平臺適用于微納電子、光電子器件、微納光機(jī)電系統(tǒng)、各種傳感器和生物芯片等研制開發(fā)。針對應(yīng)用基礎(chǔ)和具有應(yīng)用前景的科學(xué)與技術(shù)研究，集微米、納米加工和檢測手段于一體，具有先進(jìn)的、有特色的加工裝備的研究基地；具有孵化器功能，為企業(yè)全方位開放的服務(wù)體系。

約5000平方米的潔凈間，包括百級和千級面積，以及150多臺各種微加工設(shè)備，最小加工特征線條尺寸10nm，兼容6英寸-4英寸-2英寸-不規(guī)則小片，提供器件設(shè)計(jì)和工藝加工的全套解決方案。

4、中科院微電子研究所——8吋MEMS中試線

2016年，中科院微電子所建立了MEMS研發(fā)平臺，其8吋MEMS中試線工藝穩(wěn)定性達(dá)到98%；針對三軸重力加速度計(jì)、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫(yī)用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產(chǎn)品。該MEMS中試線可靈活、高效地對外提供特種工藝和小批量生產(chǎn)服務(wù)及詳細(xì)工藝方案。

5、中科院上海微系統(tǒng)所——MEMS生產(chǎn)線

上海微系統(tǒng)所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從1987年成立至今，一直以來以微電子技術(shù)和微納加工技術(shù)為基礎(chǔ)開展各類微納傳感器和微系統(tǒng)的研究工作。在國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的1600平方米凈化實(shí)驗(yàn)室中，實(shí)驗(yàn)室以雙面光刻機(jī)、硅片鍵合機(jī)、DRIE硅深刻蝕機(jī)等為基礎(chǔ)開發(fā)了體微機(jī)械加工技術(shù)除了在芯片上的集成制造，實(shí)驗(yàn)室開發(fā)了傳感器先進(jìn)封裝技術(shù)。

在4吋芯片微納加工線上，實(shí)驗(yàn)室還配有各種在線和離線微納制造表征測試設(shè)備：包括各種微納瓷都的膜厚、臺階、應(yīng)力、紅外三維成像等等在線制造檢測設(shè)備，也包括冷場發(fā)射高分辨掃描電鏡、普通透射電鏡的基礎(chǔ)部分等離線制造表征設(shè)備，它們可以有效地為MEMS/NEMS技術(shù)的開發(fā)提供有監(jiān)控手段。

6、淄博高新區(qū)——6吋MEMS中試線

作為國內(nèi)首條6吋硅基MEMS中試代工平臺于2016年5月17日通過國家質(zhì)量管理體系認(rèn)證，并于2016年6月20日通過教育部成果鑒定，鑒定成果為國際先進(jìn)。MEMS平臺投資1.6億人民幣，廠房面積4996平，潔凈面積達(dá)1500平，超凈面積和規(guī)模位居山東省、全國前列。