近日，在重慶力為康智能裝備有限公司檢測車間，北京理工大學(xué)重慶微電子研究院（以下簡稱“北理微電院”）彭喆博士正調(diào)試參數(shù)，光譜儀顯示屏上實(shí)時跳動著精準(zhǔn)的檢測數(shù)據(jù)，經(jīng)過嚴(yán)格測試，北理微電院自主研發(fā)的FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀各項(xiàng)性能指標(biāo)均達(dá)到或超過預(yù)期，標(biāo)志著該產(chǎn)品順利完成批量生產(chǎn)并交付。

▲FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀測試交付現(xiàn)場

FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀由北理微電院彭喆博士牽頭組建專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)研發(fā)。該產(chǎn)品利用MEMS電熱微鏡技術(shù)，成功規(guī)避對電機(jī)的依賴，采用自主研發(fā)、生產(chǎn)的MEMS微鏡，打破國內(nèi)光譜儀核心部件技術(shù)瓶頸，解決微鏡熱響應(yīng)時間、調(diào)制精度、驅(qū)動控制等系統(tǒng)問題，填補(bǔ)了國內(nèi)技術(shù)空白。

▲微型近紅外光譜儀產(chǎn)品

▲超大位移電熱MEMS微鏡

“我們先后突破MEMS微鏡熱響應(yīng)控制、光學(xué)系統(tǒng)微型化、光電轉(zhuǎn)換電路噪聲抑制等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)瓶頸?！北崩砦㈦娫合嚓P(guān)負(fù)責(zé)人介紹，產(chǎn)品研發(fā)過程中，研發(fā)團(tuán)隊(duì)完成10余輪設(shè)計(jì)迭代，測試數(shù)據(jù)超500組，僅用時7個月，成功實(shí)現(xiàn)了該產(chǎn)品從設(shè)計(jì)研發(fā)到量產(chǎn)交付，創(chuàng)造了“北理速度”。

▲北理微電院FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀研發(fā)團(tuán)隊(duì)

據(jù)了解，憑借其技術(shù)創(chuàng)新性，該產(chǎn)品已入選2024西部（重慶）科學(xué)城十大科技創(chuàng)新成果。產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，將有效提升我國在精密儀器制造領(lǐng)域的技術(shù)水平，為相關(guān)行業(yè)提供重要的技術(shù)支撐。