考核指標(biāo)：采集通道數(shù)≥1000，最高存儲速度≥500MB/s，存儲容量≥256GB，耐高溫?zé)g1200℃@60min;抗沖擊強(qiáng)度≥10000g，持續(xù)時間5ms;耐海水浸泡≥30天，耐深海壓力≥6000m@24h;體積≤2500cm3，重量≤3.5kg;具有視頻記錄、鏈路記錄、授時、文件索引管理等功能，符合適航認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn);平均故障間隔時間≥50000小時。

1.14 高分辨率多功能原子探針

研究目標(biāo)：開發(fā)高分辨率多功能原子探針，突破高耐磨材料制備和納米尺度結(jié)構(gòu)制備工藝的難題，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在原子力顯微鏡、磁力顯微鏡等儀器中的應(yīng)用。

考核指標(biāo)：普通探針尖端曲率半徑范圍5nm~1μm，深寬比≥5，彈性常數(shù)范圍0.01N/m~40N/m，加工誤差≤±10%;高分辨探針尖端曲率半徑≤5nm，深寬比≥3;磁性探針曲率半徑≤30nm;電性探針曲率半徑≤30nm;成品率≥90%;使用壽命≥1000幅掃描成像。

1.15 高精度微型壓力傳感器

研究目標(biāo)：開發(fā)高精度微型壓力傳感器，突破多參量協(xié)同敏感和低殘余應(yīng)力封裝等關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在工業(yè)流程監(jiān)控儀、大氣數(shù)據(jù)采集儀、高精度壓力控制儀等儀器中的應(yīng)用。

考核指標(biāo)：壓力測量范圍0~1MPa，測量誤差≤0.03%FS，測量分辨率≤0.02%FS，長期穩(wěn)定性≤±0.05%FS/年，尺寸≤5mm×5mm×5mm，工作溫度-40℃~ 85℃，過載能力≥2倍FS，抗加速度沖擊≤0.05kPa/g;平均故障間隔時間≥5000小時。