考核指標：樣品尺寸1nm~20μm，自旋保持時間≥100μs，時間分辨率≤50ps;自旋空間測量范圍0.1nm~2μm;自旋空間橫向分辨率≤0.1nm，縱向分辨率≤0.01nm;自旋間力測量范圍0.2nN~5nN，分辨率≤0.2nN;平均故障間隔時間≥3000小時。

2.15 低場量子電阻測量儀

研究目標:針對電阻高準確度校準的需要，突破低場量子電阻測量和計量傳遞等關鍵技術，開發(fā)具有自主知識產權、質量穩(wěn)定可靠、核心部件國產化的低場量子電阻測量儀，開發(fā)相關軟件和數(shù)據庫，實現(xiàn)低磁場、無需補充液氦低溫條件下可移動和不間斷運行的高準確度電阻測量。開展工程化開發(fā)、應用示范和產業(yè)化推廣。

考核指標：測量范圍1Ω~10kΩ，低磁場量子電阻不確定度≤1×10-8，高準確度電阻傳遞裝置不確定度≤1×10-8，可移動式基準級低場量子電阻測量系統(tǒng)的整體不確定度≤2×10-8，所需超導磁體磁感應強度≤6T，低溫裝置溫度范圍4.2K~10K;平均故障間隔時間≥3000小時。

2.16 高精度三維螺紋綜合測量儀

研究目標：針對先進制造領域螺紋幾何參數(shù)的綜合性檢測需求，突破內外螺紋三維掃描高精度測頭和三維參數(shù)高效重構關鍵技術，開發(fā)具有自主知識產權、質量穩(wěn)定可靠、核心部件國產化的高精度三維螺紋綜合測量儀，開發(fā)相關軟件和數(shù)據庫，實現(xiàn)螺紋全參數(shù)的三維自動掃描檢測。開展工程化開發(fā)、應用示范和實現(xiàn)產業(yè)化。