共性考核指標(biāo)：目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測(cè)試和第三方異地測(cè)試，技術(shù)就緒度達(dá)到9級(jí);至少應(yīng)用于2類儀器;明確發(fā)明專利、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量;形成批量生產(chǎn)能力，明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷售數(shù)量和銷售額。

1.1 X射線菲涅耳透鏡

研究目標(biāo)：開發(fā)X射線菲涅耳透鏡，突破納米尺度微結(jié)構(gòu)的高深寬比加工技術(shù)難題，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)在同步輻射、顯微CT、軟X射線成像等儀器中的應(yīng)用。

考核指標(biāo)：最外環(huán)寬度≤25nm@500eV，環(huán)高≥200nm@500eV;最外環(huán)寬度≤40nm@9keV，環(huán)高≥700nm@9keV，衍射效率≥1%@9keV;X射線聚焦≤60nm;平均故障間隔時(shí)間≥5000小時(shí)。

1.2 S波段高功率速調(diào)管

研究目標(biāo)：開發(fā)S波段高功率速調(diào)管，突破高壓電子槍、高功率容量輸出窗口技術(shù)，解決速調(diào)管工作穩(wěn)定性難題，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)在高能對(duì)撞機(jī)、同步輻射光源、自由電子激光裝置、輻射成像裝置、輻照加速器等儀器裝置中的應(yīng)用。

考核指標(biāo)：中心頻率2998MHz，帶寬2MHz，最大輸出功率≥50MW，脈沖寬度2μs，脈沖重復(fù)頻率≥50Hz，效率≥45%，增益≥50dB;平均故障間隔時(shí)間≥5000小時(shí)。

1.3 太赫茲倍頻器