考核指標(biāo)：中心頻率≥0.5THz，調(diào)制時(shí)間≤10μs@90GHz，成像景深≥50cm，成像時(shí)間≤5s@50cm×50cm，穿透深度≥10cm@碳纖維材料，成像分辨率≤0.3mm×0.3mm×1.5mm;平均故障間隔時(shí)間≥4000小時(shí)。[pagebreak]

2.13 差分高能電子衍射儀

研究目標(biāo)：針對(duì)薄膜、異質(zhì)結(jié)、超晶格人工結(jié)構(gòu)制備工藝過(guò)程中的測(cè)試需求，突破寬氣壓高能衍射電子槍和衍射電子氣體散射干擾抑制等關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國(guó)產(chǎn)化的差分高能電子衍射儀，開(kāi)發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)，實(shí)現(xiàn)寬氣壓范圍晶體取向和原子位置等原位實(shí)時(shí)測(cè)試。開(kāi)展工程化開(kāi)發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

考核指標(biāo)：能量范圍15keV~35keV，束流50μA~100μA，束斑直徑50μm~80μm，紋波系數(shù)0.05%，束流穩(wěn)定度系數(shù)0.15%/℃，工作氣壓范圍1×10-8Pa-100Pa，一次實(shí)驗(yàn)采集圖像≥50幅，自動(dòng)焦距調(diào)整響應(yīng)時(shí)間≤5秒，觀測(cè)強(qiáng)度震蕩≥50個(gè)周期;平均故障間隔時(shí)間≥3000小時(shí)。

2.14 固態(tài)量子材料自旋信息測(cè)量?jī)x

研究目標(biāo)：針對(duì)量子計(jì)算、量子傳感器件所用核心關(guān)鍵材料量子自旋信息測(cè)量及表征需求，突破量子探針制備、量子自旋態(tài)空間形貌表征、自旋態(tài)時(shí)空信息解耦等關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國(guó)產(chǎn)化的固態(tài)量子材料自旋信息測(cè)量?jī)x，開(kāi)發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)，實(shí)現(xiàn)室溫環(huán)境下固態(tài)量子材料自旋信息的高精度測(cè)量。開(kāi)展工程化開(kāi)發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。