考核指標(biāo)：流量范圍2nL/s~5mL/s，準(zhǔn)確度≤0.3%，重復(fù)精度≤0.2%，最小加液體積≤5nL，加液管容積10μL~100mL，滿足定時加液、定量加液、變流量加液、超微量加液等多種加液需求，滿足強酸強堿及多種有機溶劑的使用要求;平均故障間隔時間≥10000小時。[pagebreak]

1.27 快速反應(yīng)分析轉(zhuǎn)化器

研究目標(biāo)：開發(fā)快速反應(yīng)分析轉(zhuǎn)化器，突破秒級反應(yīng)原位驅(qū)動與快速捕捉等關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)與質(zhì)譜檢測器、紅外檢測器、熱導(dǎo)檢測器等的聯(lián)用。

考核指標(biāo)：最高加熱溫度≥1400℃，溫度控制精度≤0.3%，最高反應(yīng)壓力≥5MPa,在線熱啟動時間≤0.5s,適用的最快反應(yīng)時間≤1s;平均故障間隔時間≥10000小時。

1.28 長行程精密運動平臺

研究目標(biāo)：開發(fā)長行程精密運動平臺，突破高精度復(fù)合直線運動機構(gòu)和超快直線驅(qū)動等關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在高通量基因測序儀、超分辨顯微成像儀、工業(yè)快速檢測儀等儀器中的應(yīng)用。

考核指標(biāo)：X-Y行程≥150mm，移動速度≥1m/s，Z向跳動幅度≤±0.4μm，閉環(huán)分辨率≤5nm;Z向行程≥20mm，移動速度≥1m/s，X-Y向跳動幅度≤±0.2μm，閉環(huán)分辨率≤5nm;非線性度≤0.03%，最大負(fù)載能力≥10kg;平均故障間隔時間≥5000小時。

1.29 寬頻帶同軸步進衰減器

研究目標(biāo)：開發(fā)寬頻帶同軸步進衰減器，突破彈性件熱處理與表面處理工藝、精密微組裝、電磁控制等關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、信號源、頻譜分析儀等儀器中的應(yīng)用。