(一)關(guān)鍵材料裝備攻關(guān)工程。
19. 加快開展光芯片關(guān)鍵材料研發(fā)攻關(guān)。大力支持硅光材料、化合物半導(dǎo)體、薄膜鈮酸鋰、氧化鎵薄膜、電光聚合物、柔性基底材料、超表面材料、光學(xué)傳感材料、電光拓?fù)湎嘧儾牧稀⒐饪棠z、石英晶體等光芯片關(guān)鍵材料研發(fā)制造。(省科技廳、發(fā)展改革委、工業(yè)和信息化廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))
20. 推進(jìn)光芯片關(guān)鍵裝備研發(fā)制造。大力推動刻蝕機(jī)、鍵合機(jī)、外延生長設(shè)備及光矢量參數(shù)網(wǎng)絡(luò)測試儀等光芯片關(guān)鍵裝備研發(fā)和國產(chǎn)化替代。落實(shí)工業(yè)設(shè)備更新改造政策,加快光芯片關(guān)鍵設(shè)備更新升級。(省科技廳、發(fā)展改革委、工業(yè)和信息化廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))
21. 支持光芯片相關(guān)部件和工藝的研發(fā)及優(yōu)化。大力支持收發(fā)模塊、調(diào)制器、可重構(gòu)光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)推理器、PLC分路器、AWG光柵等光器件及光模塊核心部件的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。支持硅光集成、異質(zhì)集成、磊晶生長和外延工藝、制造工藝等光芯片相關(guān)制造工藝研發(fā)和持續(xù)優(yōu)化。(省科技廳、發(fā)展改革委、工業(yè)和信息化廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))
(二)產(chǎn)業(yè)強(qiáng)鏈補(bǔ)鏈建設(shè)工程。
22. 加強(qiáng)光芯片設(shè)計研發(fā)。鼓勵有條件的機(jī)構(gòu)對標(biāo)國際一流水平,建設(shè)光芯片設(shè)計工具軟件及IP等高水平創(chuàng)新平臺,構(gòu)建細(xì)分領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新優(yōu)勢。支持光芯片設(shè)計企業(yè)圍繞光通信互連收發(fā)芯片、FP/DFB/EML/VCSEL激光芯片、PIN/APD探測芯片、短波紅外有機(jī)成像芯片、TOF/FMCW激光雷達(dá)芯片、3D視覺感知芯片等領(lǐng)域加強(qiáng)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化布局。(省發(fā)展改革委、科技廳、工業(yè)和信息化廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))
23. 加強(qiáng)光芯片制造布局。在符合國家產(chǎn)業(yè)政策基礎(chǔ)上,大力支持技術(shù)先進(jìn)的光芯片IDM(設(shè)計、制造、封測一體化)、Foundry(晶圓代工)企業(yè),加大基于硅基、鍺基、化合物半導(dǎo)體、薄膜鈮酸鋰等平臺材料,以及各類材料異質(zhì)異構(gòu)集成、多種功能光電融合的光芯片、光模塊及光器件的產(chǎn)線和產(chǎn)能布局。(省發(fā)展改革委、科技廳、工業(yè)和信息化廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))
24. 提升光芯片封裝水平。大力發(fā)展片上集成、3D堆疊、光波器件與光芯片的共封裝(CPO)以及光I/O接口等先進(jìn)封裝技術(shù),緊貼市場需求推動光芯片封裝測試工藝技術(shù)升級和能力提升。(省發(fā)展改革委、科技廳、工業(yè)和信息化廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))
(三)核心產(chǎn)品示范應(yīng)用工程。
25. 加強(qiáng)光芯片產(chǎn)品示范應(yīng)用。大力支持光芯片在新一代信息通信、數(shù)據(jù)中心、智算中心、生物醫(yī)藥、智能網(wǎng)聯(lián)汽車等產(chǎn)業(yè)的場景示范和產(chǎn)品應(yīng)用。培育更多應(yīng)用場景,加大光芯片產(chǎn)品在信息傳輸、探測、傳感等領(lǐng)域的應(yīng)用,推動相關(guān)領(lǐng)域半導(dǎo)體產(chǎn)品升級換代。(省發(fā)展改革委、科技廳、工業(yè)和信息化廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))
(四)前沿技術(shù)產(chǎn)業(yè)培育工程。
26. 圍繞光芯片前沿理論和技術(shù)問題開展基礎(chǔ)攻關(guān)和研發(fā)布局。支持企業(yè)、高校、研究機(jī)構(gòu)等圍繞光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)芯片、光量子芯片、超靈敏光傳感探測芯片、光電異質(zhì)異構(gòu)混合集成芯片、微腔光電子芯片、冪次增長算力光芯片等技術(shù)領(lǐng)域研發(fā)布局,努力實(shí)現(xiàn)原理性突破、原始性技術(shù)積累和開創(chuàng)性突破。(省科技廳、發(fā)展改革委、教育廳、工業(yè)和信息化廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))
三、保障措施
(一)強(qiáng)化組織領(lǐng)導(dǎo)。由省半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展領(lǐng)導(dǎo)小組統(tǒng)籌推進(jìn)全省光芯片產(chǎn)業(yè)布局,整合各方資源,協(xié)調(diào)解決重大問題。省相關(guān)部門及各有關(guān)地市,明確工作職責(zé),加大政策支持力度,形成省市聯(lián)動工作合力,謀劃布局標(biāo)志性項(xiàng)目、專業(yè)化園區(qū)和重大創(chuàng)新平臺。探索建立光芯片產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略咨詢機(jī)制,加大對光芯片整體發(fā)展趨勢、國際形勢變化、主要技術(shù)走向等基礎(chǔ)研判,開展前瞻性、戰(zhàn)略性重大問題研究,逐步形成支撐光芯片未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)體系。(省發(fā)展改革委、科技廳、工業(yè)和信息化廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))
(二)強(qiáng)化資金支持。統(tǒng)籌用好現(xiàn)有專項(xiàng)資金支持光芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展,在基礎(chǔ)研究、成果轉(zhuǎn)化、推廣應(yīng)用、龍頭企業(yè)招引、人才引進(jìn)等方面給予穩(wěn)定資金支持。鼓勵科研人員圍繞光芯片前沿技術(shù)領(lǐng)域自主選題、自主研發(fā),加快形成前沿性、交叉性、顛覆性技術(shù)原創(chuàng)成果。推動省內(nèi)企業(yè)、高校、科研院所等各類創(chuàng)新主體在國家未來產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域重大專項(xiàng)等政策實(shí)施中承擔(dān)一批國家級重大項(xiàng)目,加快科技創(chuàng)新和成果轉(zhuǎn)化。發(fā)揮省基金及地市相關(guān)投資基金的引導(dǎo)作用,鼓勵社會資本以股權(quán)、債券、保險等形式支持光芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展。(省發(fā)展改革委、科技廳、工業(yè)和信息化廳、財政廳、商務(wù)廳等按職責(zé)分工負(fù)責(zé))