近日，中國科學(xué)院沈陽自動化研究所在工業(yè)零件測量領(lǐng)域取得新進展，提出了一種適用于工業(yè)零件表面反射率變化較大情況的光學(xué)低相干測量方法，實現(xiàn)了對鏡面、類鏡面、漫反射面等多種反射特性的工業(yè)零件關(guān)鍵參數(shù)的高精度測量。該研究成果于近期在線發(fā)表在國際儀器測量領(lǐng)域期刊IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT。

適用于工業(yè)零件表面反射率變化較大情況的光學(xué)低相干測量方法示意圖

工業(yè)零件尺寸和關(guān)鍵參數(shù)的高精度測量是保證制造精度和裝配可靠性的關(guān)鍵。低相干測量方法是一種利用光學(xué)干涉現(xiàn)象的測量方法，具有精度高、測量范圍大、無損等優(yōu)點，在工業(yè)測量領(lǐng)域顯示出巨大的應(yīng)用潛力。然而，目前工業(yè)上的低相干性測量方法大多假設(shè)零件表面反射率恒定或變異性很小，導(dǎo)致這些方法適應(yīng)性差，適用范圍有限。

沈陽自動化所工藝裝備與智能機器人研究室科研團隊提出了一種針對表面反射率變化較大的零件關(guān)鍵參數(shù)測量的工業(yè)光學(xué)低相干測量方法。團隊建立了一個工業(yè)低相干模型，從理論上證明了其適應(yīng)表面反射率變化較大的零件測量的可行性；基于提出的測量模型，設(shè)計了光路，搭建了工業(yè)低相干系統(tǒng)，通過實驗驗證了所提方法的有效性。實驗結(jié)果表明，該方法適用于包括漫反射、鏡面反射和類鏡面反射條件下的工業(yè)零件測量。

該研究成果得到了國家自然科學(xué)基金的支持。