由懸浮石墨烯制成的納米機械諧振器對壓力變化表現出高靈敏度。然而，由于受空氣阻尼的影響，這些設備在非真空環(huán)境中表現出明顯的能量損失，以及由于石墨烯的輕微滲透，參考腔內不可避免地出現微弱的氣體泄漏。2023年6月12日，北京航空航天大學李成副教授團隊在ACS Appl. Mater. Interfaces期刊發(fā)表名為“High-Sensitivity Graphene MOEMS Resonant Pressure Sensor”的論文，研究提出了一種利用微電子機械系統(tǒng)技術的新型石墨烯諧振壓力傳感器，其特點是將多層石墨烯膜密封在真空中，并粘附在帶有凹槽的壓敏硅膜上。
這種方法創(chuàng)新性地采用了間接敏感的方法，在大氣中表現出60倍的能量損失，并解決了基底和石墨烯之間長期存在的氣體滲透問題。值得注意的是，所提出的傳感器表現出1.7Hz/Pa的高壓力靈敏度，比硅的同類產品的靈敏度高5倍。此外，全光封裝腔結構有助于實現6.9×10-5/Pa的高信噪比和低溫度漂移（0.014%/℃）。所提出的方法為使用二維材料作為敏感膜的壓力傳感器的長期穩(wěn)定性和能量損失抑制提供了一個很好的解決方案。
MOEMS石墨烯諧振壓力傳感器其特點是通過陽極鍵合實現10-3Pa的真空封裝，大大降低了壓力差下基底和石墨烯之間高空氣阻尼和氣體滲透造成的能量損失。總的來說，所提出的傳感器為提高信噪比和實現二維材料諧振傳感器的可靠使用提供了一個有前途的解決方案。
