壓力傳感器廣泛應用于工業(yè)現(xiàn)場,石油石化,航空航天的各個領域,通常根據(jù)使用的量程可以劃分為低壓700kPa以下,中壓(700kPa到7MPa)和高壓7MPa以上,部分應用可以達到70MPa 以上的更高壓力。
在壓力傳感器生產(chǎn)制造工藝過程中,補償校準成為其中最為關鍵部分,用來確保傳感器達到預定的精度等級輸出。壓力傳感器的補償,分為溫度補償和零滿度補償。溫度補償用來修正敏感元件等器件因為溫度產(chǎn)生的漂移和偏差,零滿度補償主要是修正生產(chǎn)工藝中,敏感元件因為壓力在零點和滿量程下產(chǎn)生的輸出偏差。在壓力傳感器實際應用環(huán)境中,壓力和溫度變化往往會同時存在, 因此在生產(chǎn)工藝校準中,需要在溫度補償過程中同時對傳感器的零滿度進行補償。補償校準過程需要提供壓力傳感器所需要的穩(wěn)定高低溫環(huán)境和零滿度壓力基準。溫度環(huán)境通常由高低溫環(huán)境試驗箱等提供,通??販鼐葹椤?度左右, 壓力基準一般可以根據(jù)傳感器的精度等級選擇不同的基準器,例如工作級活塞,自動壓力控制器等。
在壓力傳感器的生產(chǎn)補償校準工藝中,通常選擇自動的壓力控制器來作為壓力基準。穩(wěn)定精準的壓力基準對傳感器的高精度準確輸出尤為重要。Fluke 6270A和8270A/8370A系列壓力控制器,可以實現(xiàn)從真空到高壓100MPa的壓力全覆蓋,支持表壓、絕壓、差壓測量。模塊化的壓力測量設計,可以實現(xiàn)在一臺壓力控制器上自由切換不同量程,較高的控制可調(diào)比(6270A為10:1, 8270A/8370A為100:1),可以在較高的供氣壓力下覆蓋全量程的精確壓力控制輸出,全氣體介質適用于部分對工藝潔凈度要求較高的壓力傳感器補償校準,例如醫(yī)療,食品和半導體應用領域。