超高純（UHP）壓力傳感器被廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏行業(yè)的特氣輸配送系統(tǒng)中，是半導(dǎo)體、光伏廠務(wù)供氣特氣柜、工藝設(shè)備配氣柜中的關(guān)鍵零部件之一。

區(qū)別于一般的壓力傳感器，UHP壓力傳感器有以下幾個比較關(guān)鍵的特點(diǎn)：

比較寬的量程范圍需求，需要涵蓋機(jī)臺端25~50 psi絕壓量程、氣路分配箱100~250 psi絕壓或復(fù)合壓量程以及特氣柜250 psi、3000~5000 psi絕壓或復(fù)合壓的應(yīng)用。

潔凈生產(chǎn)過程的需求，需要在全量程范圍內(nèi)使用高純氮?dú)膺M(jìn)行標(biāo)定或校準(zhǔn)，避免污染傳感器的接液部件，便于后續(xù)的潔凈包裝處理。

高精度標(biāo)定需求，通常UHP壓力傳感器的精度指標(biāo)要達(dá)到+/- 0.2/0.25 %FS，需要一套精度足夠高的標(biāo)定/校準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行線性標(biāo)定。

低溫漂補(bǔ)償需求，UHP壓力傳感器需要更加可靠的溫補(bǔ)以滿足在經(jīng)歷吹掃過程時不出現(xiàn)零點(diǎn)溫漂現(xiàn)象。

福祿克8270A模塊化氣體壓力控制器，擁有寬范圍、多量程、高精度氣壓控制的特性，控壓范圍從真空至44 MPa（6600 psi），具有0.01 %FS或0.007 %Rdg測壓精度、0.002 %FS穩(wěn)壓精度，可同時安裝多達(dá)5個測壓模塊，既無量程比限制、又能自動切換量程，單臺8270A控制器即能滿足全量程UHP壓力傳感器的標(biāo)定或校準(zhǔn)，助力傳感器生產(chǎn)企業(yè)搭建低成本、高效率的柔性化傳感器標(biāo)定/溫補(bǔ)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)小批量、多量程按需精益生產(chǎn)的目標(biāo)。

這里，我們以標(biāo)定100、250、5000 psi三個量程的UHP壓力傳感器為例，只需一臺8270A搭配6000 psi和300 psi兩個量程的測壓模塊，即能標(biāo)定上述三個量程UHP壓力傳感器，并且標(biāo)定系統(tǒng)的精度優(yōu)于對應(yīng)量程的0.03 %。

同時，通過8270A主機(jī)集成的電磁閥驅(qū)動器控制三路電磁閥開或閉，實(shí)現(xiàn)三個量程的傳感器在烘箱的一次升降溫過程中實(shí)現(xiàn)多量程混合標(biāo)定。

1、標(biāo)定100 psi量程，三路電磁閥均打開，8270A自動選擇300 psi量程模塊進(jìn)行控壓、穩(wěn)壓。

2、標(biāo)定250 psi量程，上路電磁閥關(guān)閉，8270A仍舊使用300 psi量程模塊進(jìn)行控壓、穩(wěn)壓。

3、標(biāo)定5000 psi量程，僅下路電磁閥打開，8270A自動切換為6000 psi量程模塊進(jìn)行控壓、穩(wěn)壓。