在科學技術高度發(fā)展的今天，現(xiàn)代精密測量技術對一個國家的發(fā)展起著十分重要的作用。如果沒有先進的測量技術與測量手段，就很難設計和制造出綜合性能和單相性能均優(yōu)良的產品，更談不發(fā)展現(xiàn)代高新尖端技術，因此世界各個工業(yè)發(fā)達國家都很重視和發(fā)展現(xiàn)代精密測量技術。

精密坐標測量

精密測量技術

現(xiàn)代精密測量技術是一門集光學、電子、傳感器、圖像、制造及計算機技術為一體的綜合性交叉學科，涉及廣泛的學科領域，它的發(fā)展需要眾多相關學科的支持。

在現(xiàn)代工業(yè)制造技術和科學研究中，測量儀器具有精密化、集成化、智慧化的發(fā)展趨勢。三坐標測量機（CMM）是適應上述發(fā)展趨勢的典型代表，它幾乎可以對生產中的所有三維復雜零件尺寸、形狀和相互位置進行高準確度測量。發(fā)展高速坐標測量機是現(xiàn)代工業(yè)生產的要求。同時，作為下世紀的重點發(fā)展目標，各國在微/納米測量技術領域開展了廣泛的應用研究。

三坐標測量機

三坐標測量機作為幾何尺寸數(shù)字化檢測設備在機械制造領域得到推廣使用。

1、誤差自補償技術

德國CarlZeiss公司最近開發(fā)的CNC小型坐標測量機采用熱不靈敏陶瓷技術，使坐標測量機的測量精度在17.8～25.6℃范圍不受溫度變化的影響。國內自行開發(fā)的數(shù)控測量機軟件系統(tǒng)PMIS包括多項系統(tǒng)誤差補償、系統(tǒng)參數(shù)識別和優(yōu)化技。

CNC小型坐標測量機

2、豐富的軟件技術

CarlZeiss公司開發(fā)的坐標測量機軟件STRATA-UX，其測量數(shù)據(jù)可以從CMM直接傳送到隨機配備的統(tǒng)計軟件中去，對測量系統(tǒng)給出的檢驗數(shù)據(jù)進行實時分析與管理，根據(jù)要求對其進行評估。依據(jù)此數(shù)據(jù)庫，可自動生成各種統(tǒng)計報表，包括X-BAR&R及X_BAR&S圖表、頻率直方圖、運行圖、目標圖等。

美國公司的Cameleon測量系統(tǒng)所配支持軟件可提供包括齒輪、板材、凸輪及凸輪軸共計50多個測量模塊。

日本Mistutor公司研制開發(fā)了一種圖形顯示及繪圖程序，用于輔助操作者進行實際值與要求測量值之間的比較，具有多種輸出方式。

STRATA-UX系統(tǒng)處理簡圖

3、非接觸測量

基于三角測量原理的非接觸激光光學探頭應用于CMM上代替接觸式探頭。通過探頭的掃描可以準確獲得表面粗糙度信息，進行表面輪廓的三維立體測量及用于模具特征線的識別。

該方法克服了接觸測量的局限性。將激光雙三角測量法應用于大范圍內測量，對復雜曲面輪廓進行測量，其精度可高于1μm。英國IMS公司生產的IMP型坐標測量機可以配用其它廠商提供的接觸式或非接觸式探頭。

IMP型坐標測量機

微/納米級精密測量技術

科學技術向微小領域發(fā)展，由毫米級、微米級繼而涉足到納米級，即微/納米技術。

納米級加工技術可分為加工精度和加工尺度兩方面。加工精度由本世紀初的最高精度微米級發(fā)展到現(xiàn)有的幾個納米數(shù)量級。金剛石車床加工的超精密衍射光柵精度已達1nm，已經可以制作10nm以下的線、柱、槽。