在毫米波亞毫米波硅基集成電路方面我國(guó)大陸起步稍晚, 但在國(guó)家973 計(jì)劃、863 計(jì)劃和自然科學(xué)基金等的支持下, 已快速開展研究并取得進(jìn)展。 東南大學(xué)毫米波國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基于90 nm CMOS 工藝成功設(shè)計(jì)了Q、V 和W 頻段放大器、混頻器、VCO 等器件和W 波段接收機(jī)、Q波段多通道收發(fā)信機(jī)等, 以及到200 GHz 的CMOS 倍頻器和到520 GHz 的SiGe 振蕩器等。
2、毫米波電真空器件
毫米波集成電路具有體積小、成本低等很多優(yōu)點(diǎn),但功率受限。 為了獲得更高的輸出功率, 可以采用電真空器件, 如加拿大CPI 公司研制的速調(diào)管(Klystron) 在W 波段上獲得了超過2000 W 的脈沖輸出功率, 北京真空電子研究所研制的行波管(TWT) 放大器在W 波段的脈沖輸出功率超過了100 W,電子科技大學(xué)在W 波段上也成功設(shè)計(jì)了TWT 功率放大器, 中國(guó)科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院研制的迴旋管(Gyrotron) 在140 GHz 上獲得了0.9 MW 的脈沖輸出功率, 與國(guó)外水平相當(dāng)。
3、毫米波應(yīng)用
近年來, 毫米波器件性能的不斷提高, 成本的不斷降低, 有力促進(jìn)了毫米波在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用。 目前基于毫米波頻段的應(yīng)用主要體現(xiàn)在毫米波通信、毫米波成像及毫米波雷達(dá)等方面。
3.1 毫米波通信