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帶你了解MEMS陀螺儀的工作原理


  來源: 傳感器專家 時(shí)間:2020-05-13 編輯:儀器儀商WXF
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陀螺儀是用來測量角速率的儀器,在加速度功能基礎(chǔ)上,可以進(jìn)一步發(fā)展,構(gòu)建陀螺儀。



陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的:對固定指施加電壓,并交替改變電壓,讓一個(gè)質(zhì)量塊做振蕩式來回運(yùn)動(dòng),當(dāng)旋轉(zhuǎn)時(shí),會(huì)產(chǎn)生科里奧利加速度,此時(shí)就可以對其進(jìn)行測量;這有點(diǎn)類似于加速度計(jì),解碼方法大致相同,都會(huì)用到放大器。


角速率由科氏加速度測量結(jié)果決定

- 科氏加速度 = 2 × (w × 質(zhì)量塊速度)                        

- w是施加的角速率(w = 2 πf)                


通過14 kHz共振結(jié)構(gòu)施加的速度(周期性運(yùn)動(dòng))快速耦合到加速度計(jì)框架

- 科氏加速度與諧振器具有相同的頻率和相位,因此可以抵消低速外部振動(dòng)  


該機(jī)械系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與加速度計(jì)相似(微加工多晶硅)


信號調(diào)理(電壓轉(zhuǎn)換偏移)采用與加速度計(jì)類似的技術(shù)


施加變化的電壓來回移動(dòng)器件,此時(shí)器件只有水平運(yùn)動(dòng)沒有垂直運(yùn)動(dòng)。如果施加旋轉(zhuǎn),可以看到器件會(huì)上下移動(dòng),外部指將感知該運(yùn)動(dòng),從而就能拾取到與旋轉(zhuǎn)相關(guān)的信號。



上面的圖片,只是抽象展示了陀螺儀的工作原理,而真實(shí)的陀螺儀內(nèi)部構(gòu)造是下面這個(gè)樣子,別不小心誤會(huì)了哦~



PS:陀螺儀可以三個(gè)一起設(shè)計(jì),分別對應(yīng)于所謂滾動(dòng)、俯仰和偏航。任何了解航空器的人都知道,俯仰是指航空器的上下方向,偏航是指左右方向,滾動(dòng)是指向左或向右翻滾。要正確控制任何類型的航空器或?qū)棧夹枰肋@三個(gè)參數(shù),這就會(huì)用到陀螺儀。它們還常常用于汽車導(dǎo)航,當(dāng)汽車進(jìn)入隧道而失去GPS信號時(shí),這些器件會(huì)記錄您的行蹤。


無人機(jī)在飛行作業(yè)時(shí),獲取的無人機(jī)影像通常會(huì)攜帶配套的POS數(shù)據(jù)。從而在處理中可以更加方便的處理影像。而POS數(shù)據(jù)主要包括GPS數(shù)據(jù)和IMU數(shù)據(jù),即傾斜攝影測量中的外方位元素:(緯度、經(jīng)度、高程、航向角(Phi)、俯仰角(Omega)及翻滾角(Kappa))。


GPS數(shù)據(jù)一般用X、Y、Z表示,代表了飛機(jī)在飛行中曝光點(diǎn)時(shí)刻的地理位置。


飛控是由主控MCU和慣性測量模塊(IMU,Inertial Measurement Unit)組成。IMU提供飛行器在空間姿態(tài)的傳感器原始數(shù)據(jù),一般由陀螺儀傳感器/加速度傳感器/電子羅盤提供飛行器9DOF數(shù)據(jù)。


IMU中的傳感器用來感知飛行器在空中的姿態(tài)和運(yùn)動(dòng)狀態(tài),這有個(gè)專有名詞叫做運(yùn)動(dòng)感測追蹤,英文Motion Tracking。運(yùn)動(dòng)感測技術(shù)主要有四種基礎(chǔ)運(yùn)動(dòng)傳感器,下面分別說明其進(jìn)行運(yùn)動(dòng)感測追蹤的原理。


 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)


IMU中使用的傳感器基本上都是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),是半導(dǎo)體工業(yè)中非常重要的一個(gè)分支。


微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)是一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺。微機(jī)電系統(tǒng)是微米大小的機(jī)械系統(tǒng),是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的。


我們的四軸飛行器上用到的加速度陀螺儀MPU6050,電子羅盤HMC5883L都是微機(jī)電系統(tǒng),屬于傳感MEMS分支。傳感MEMS技術(shù)是指用微電子微機(jī)械加工出來的、用敏感元件如電容、壓電、壓阻、熱電耦、諧振、隧道電流等來感受轉(zhuǎn)換電信號的器件和系統(tǒng)。


 加速器(G-sensors)


加速器可用來感測線性加速度與傾斜角度,單一或多軸加速器可感應(yīng)結(jié)合線性與重力加速度的幅度與方向。含加速器的產(chǎn)品,可提供有限的運(yùn)動(dòng)感測功能。


加速度計(jì)的低頻特性好,可以測量低速的靜態(tài)加速度。在我們的飛行器上,就是對重力加速度g(也就是前面說的靜態(tài)加速度)的測量和分析,其它瞬間加速度可以忽略。記住這一點(diǎn)對姿態(tài)解算融合理解非常重要。


當(dāng)我們把加速度計(jì)拿在手上隨意轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),我們看的是重力加速度在三個(gè)軸上的分量值。加速度計(jì)在自由落體時(shí),其輸出為0。為什么會(huì)這樣呢?這里涉及到加速度計(jì)的設(shè)計(jì)原理:加速度計(jì)測量加速度是通過比力來測量,而不是通過加速度。


 陀螺儀(Gyros)


陀螺儀是利用高速回轉(zhuǎn)體的動(dòng)量矩敏感殼體相對慣性空間繞正交于自轉(zhuǎn)軸的一個(gè)或二個(gè)軸的角運(yùn)動(dòng)檢測裝置。利用其他原理制成的角運(yùn)動(dòng)檢測裝置起同樣功能的也稱陀螺儀。


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