2024年9月29日,市場監(jiān)管總局(國家標(biāo)準(zhǔn)委)發(fā)布2024年第22號國家標(biāo)準(zhǔn)公告,批準(zhǔn)發(fā)布《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗(yàn)方法》(GB/T 44513-2024)等六項(xiàng)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)國家標(biāo)準(zhǔn),計(jì)劃于2025年4月前陸續(xù)實(shí)施。這六項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC336)歸口,明確了MEMS材料界面結(jié)合能的四點(diǎn)彎曲試驗(yàn)方法、MEMS膜殘余應(yīng)力試驗(yàn)方法等內(nèi)容,在全國范圍內(nèi)進(jìn)一步統(tǒng)一了對MEMS相關(guān)試驗(yàn)、測量方法及技術(shù)規(guī)范的認(rèn)識,對推動微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展以及后續(xù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研制具有重要意義。
全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(TC336)于2008年11月成立,秘書處設(shè)在中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司。下一步,為推動微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施和應(yīng)用,全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC336)將組織MEMS行業(yè)專家和有關(guān)單位編制標(biāo)準(zhǔn)解讀和宣貫教材,系統(tǒng)開展微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的基礎(chǔ)知識培訓(xùn)和國家標(biāo)準(zhǔn)宣貫工作。
近年來,為支撐國內(nèi)MEMS行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC336)聚焦MEMS產(chǎn)品全生命周期各關(guān)鍵環(huán)節(jié),在共性基礎(chǔ)、設(shè)計(jì)及評價(jià)、制造與檢測、器件可靠性等方面組織制定了49項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn),其中已發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)36項(xiàng)。