中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例，晶圓級萬顆批量生產(chǎn)，單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初始阻值和響應(yīng)值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。本量產(chǎn)技術(shù)的突破，為人工智能嗅覺傳感器的普遍應(yīng)用推廣打下堅實基礎(chǔ)，為未來氣味數(shù)字化應(yīng)用提供了標(biāo)準(zhǔn)化和低成本的硬件解決方案。
隨機抽取70顆CM-A107S氫氣傳感器（LGA封裝），進行空氣中每顆阻值和500 ppm氫氣響應(yīng)值測試統(tǒng)計，結(jié)果如下圖所示。
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