多年來(lái)，體聲波濾波器（BAW）一直引領(lǐng)著移動(dòng)通信中高頻段射頻（RF）濾波器技術(shù)。如今，新興的薄膜聲表面波濾波器（TF-SAW）技術(shù)可能會(huì)擾亂這個(gè)市場(chǎng)。正如Yole在報(bào)告表示，相比傳統(tǒng)的SAW濾波器和溫度補(bǔ)償（TC-SAW）濾波器，新興的TF-SAW技術(shù)具有一些優(yōu)勢(shì)，而且成本也低于BAW濾波器。TF-SAW濾波器能提供相對(duì)較大的帶寬，同時(shí)提供良好的溫度補(bǔ)償性能和多頻帶集成的有效路徑。村田已憑借其集成2.4 GHz Wi-Fi濾波器、雙工器B25、四工器B25-B66的高性能（IHP）SAW濾波器設(shè)計(jì)，贏得了設(shè)計(jì)大獎(jiǎng)。System Plus Consulting在報(bào)告中分析了這款I(lǐng)HP SAW濾波器，首次對(duì)這種具有發(fā)展前景的TF-SAW技術(shù)進(jìn)行了成本估算。我們發(fā)現(xiàn)鍵合設(shè)備供應(yīng)商在工程襯底（engineered substrate）中扮演了關(guān)鍵角色，其中EV集團(tuán)（以下簡(jiǎn)稱：EVG）則是該領(lǐng)域的領(lǐng)先廠商。Yole分析師Cedric Malaquin和System Plus Consulting分析師Stephane Elisabeth采訪了EVG產(chǎn)品營(yíng)銷經(jīng)理Elisabeth Brandl，對(duì)射頻（RF）濾波器發(fā)展進(jìn)行了探討。

成本分析：IHP SAW濾波器 vs. BAW濾波器（包括FBAR和SMR）

Cedric Malaquin（以下簡(jiǎn)稱：CM）：首先請(qǐng)您向大家介紹EVG的行業(yè)地位和企業(yè)使命，謝謝！

Elisabeth Brandl（以下簡(jiǎn)稱EB）：EVG是半導(dǎo)體和MEMS行業(yè)的優(yōu)秀供應(yīng)商。我們不僅提供半導(dǎo)體設(shè)備，還能夠根據(jù)市場(chǎng)需求對(duì)設(shè)備進(jìn)行調(diào)整以提供完整的解決方案。EVG的愿景是率先探索新技術(shù)并服務(wù)于微米和納米加工技術(shù)的下一代應(yīng)用，從而使客戶成功地將新產(chǎn)品創(chuàng)意變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)。我們提供鍵合和光刻等不同工藝設(shè)備以及寬敞的潔凈室，讓客戶獲得從頭開發(fā)工藝并嘗試新想法的機(jī)會(huì)。EVG這種模式充當(dāng)了創(chuàng)新孵化器的角色，通過(guò)再建立新的潔凈室，我們將進(jìn)一步加強(qiáng)工藝開發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)能力。

Stephane Elisabeth（以下簡(jiǎn)稱：SE）：聚焦于射頻濾波器業(yè)務(wù)，TC-SAW濾波器市場(chǎng)不斷增長(zhǎng)，TF-SAW濾波器（如IHP-SAW濾波器）時(shí)代也將到來(lái)。您能否談?wù)凟VG在推動(dòng)上述市場(chǎng)方面所做的貢獻(xiàn)？

EB：隨著5G的推出，射頻濾波器面臨著新的挑戰(zhàn)。對(duì)耦合質(zhì)量、頻率精度的要求越來(lái)越嚴(yán)格，對(duì)反射率的要求提高。此外，由于頻譜擁擠對(duì)頻率波動(dòng)的影響越來(lái)越嚴(yán)重，頻率對(duì)溫度的依賴性也顯得尤為關(guān)鍵。

盡管結(jié)構(gòu)特殊，但SAW濾波器具有工作在更高頻段的潛力。晶圓鍵合滿足SAW濾波器對(duì)多層結(jié)構(gòu)的需求，從而滿足5G的新要求并實(shí)現(xiàn)更高的工作頻率。在5G應(yīng)用中，將鉭酸鋰（LTO）或鈮酸鋰（LNO）制造的壓電SAW濾波器晶圓與接收晶圓鍵合在一起。這些接收晶圓要么由被定義了聲學(xué)特性的幾層結(jié)構(gòu)組成，要么是堅(jiān)硬的襯底以降低壓電LTO和LNO晶圓的熱膨脹系數(shù)（CTE），因而獲得更穩(wěn)定的溫度特性。

 5G高性能SAW濾波器的關(guān)鍵襯底

除鍵合外，EVG還提供量測(cè)技術(shù)，可測(cè)量鍵合堆疊中的薄膜厚度或晶圓對(duì)準(zhǔn)情況。光刻技術(shù)（例如涂膠、顯影、掩模版對(duì)準(zhǔn)、壓印或最新的無(wú)掩模版曝光光刻）完善了我們的產(chǎn)品組合。

CM：IDM廠商是濾波器業(yè)務(wù)的主導(dǎo)者。但是，無(wú)晶圓廠（Fabless）設(shè)計(jì)公司正在對(duì)射頻濾波器進(jìn)行投入，并與濾波器代工廠和襯底供應(yīng)商合作，試圖進(jìn)入該產(chǎn)業(yè)鏈。在該生態(tài)系統(tǒng)中，您認(rèn)為哪種模式的廠商最容易抓住TC-SAW和TF-SAW商機(jī)？

EB：智能手機(jī)OEM廠商是射頻前端模組和SAW分立器件的重要客戶之一。所采用的集成戰(zhàn)略正從采購(gòu)射頻模組轉(zhuǎn)向?yàn)樘囟óa(chǎn)品定制射頻模組。因此，供應(yīng)鏈正在悄然發(fā)生變化，一些分立器件制造商也開始制造模組，代工廠的角色變得越來(lái)越重要；誰(shuí)掌握了射頻模組所有相關(guān)元器件，誰(shuí)就變得越來(lái)越強(qiáng)大。因此，LTO和LNO襯底的直接鍵合被用于制造SAW濾波器裸片。EVG看到了與SAW濾波器制造商及其供應(yīng)商（包括襯底制造商、晶體生長(zhǎng)商等）合作的機(jī)會(huì)。

除了頂級(jí)的SAW濾波器廠商以外，我們還對(duì)中國(guó)TF-SAW濾波器產(chǎn)業(yè)有濃厚的興趣，因?yàn)樵摷夹g(shù)將在中國(guó)5G產(chǎn)業(yè)中發(fā)揮著重要作用。隨著對(duì)SAW濾波器需求的增加，所有相關(guān)領(lǐng)域都會(huì)隨之增長(zhǎng)。