近日，由武漢大學(xué)牽頭的國家重大儀器研制項目（部門推薦）“薄膜生長缺陷跨時空尺度原位/實時監(jiān)測與調(diào)控實驗裝置”通過了國家自然科學(xué)基金委員會的現(xiàn)場考察。該項目提出研制薄膜生長過程跨時空尺度原位/實時測量與調(diào)控實驗裝置。建立的實驗裝置將不僅有助于我國在薄膜生長領(lǐng)域走到世界領(lǐng)先，直接為中國高端裝置的提升帶來跨越式發(fā)展，同時大大促進物理、化學(xué)和生物等學(xué)科的發(fā)展。

據(jù)了解，薄膜生長代表先進制造重要發(fā)展方向，是芯片制造的基礎(chǔ)。中國缺“芯”，半導(dǎo)體裝備及芯片是中國的最大貿(mào)易赤字“大戶”。其物理化學(xué)過程跨越介觀到宏觀的空間尺度，飛秒到秒的時間尺度，缺陷機理留有許多空白。目前對于薄膜生長過程的測量多限于宏觀量，對微觀過程進行跨時空尺度測量追蹤還有巨大挑戰(zhàn)，從而缺乏對缺陷形成微觀機制有效分析和反饋調(diào)控。

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該項目依托武漢大學(xué)，由動力與機械學(xué)院院長、工業(yè)科學(xué)研究院執(zhí)行院長劉勝教授牽頭，合作單位包括中科院半導(dǎo)體所、清華大學(xué)天津高端裝備研究院、中科院微電子所、華中科技大學(xué)和華南理工大學(xué)。

考察會上，竇賢康十分感謝國家自然科學(xué)基金委員會對武漢大學(xué)的大力支持，希望專家們能對項目多提寶貴意見，以幫助項目圓滿達到預(yù)期目標(biāo)。他表示，學(xué)校會在人才隊伍建設(shè)、跨學(xué)科研究生培養(yǎng)、實驗室場地保障等各方面予以全力支持，以確保該項目順利實施。

劉勝代表項目組詳細介紹了項目的目標(biāo)、工作基礎(chǔ)及條件、研制計劃等。項目組成員還接受了考察專家組的現(xiàn)場提問。在聽取匯報和現(xiàn)場考察后，考察專家組認為，該項目目標(biāo)明確、內(nèi)容合理、指標(biāo)先進、技術(shù)路線可行。

系統(tǒng)的研制成功將實現(xiàn)對薄膜生長中缺陷的產(chǎn)生進行跨時空尺度的原位/實時測量，從而反饋調(diào)控以得到高品質(zhì)的薄膜，將有力地促進我國在薄膜科學(xué)技術(shù)走向世界前列，可望在該領(lǐng)域取得一些原創(chuàng)性的成果。

國家重大科研儀器研制項目（原國家重大科研儀器設(shè)備研制專項項目），旨在面向科學(xué)前沿和國家需求，以科學(xué)目標(biāo)為導(dǎo)向，鼓勵和培育具有原創(chuàng)性思想的探索性科研儀器研制，著力支持原創(chuàng)性重大科研儀器設(shè)備研制，為科學(xué)研究提供更新穎的手段和工具，以全面提升我國的原始創(chuàng)新能力。

據(jù)了解，項目于2011年設(shè)立，由國家自然科學(xué)基金委員會負責(zé)組織實施與管理，分為部門推薦項目和自由申請項目2類，部門推薦項目資助平均額度為8000萬元，自由申請項目平均資助額度為500萬元。