傳感產(chǎn)業(yè)“基座”崛起

老工業(yè)城鍛造創(chuàng)新引擎

當(dāng)神舟飛船劃破蒼穹，當(dāng)新能源汽車馳騁大地，指甲蓋大小的傳感器正在執(zhí)行環(huán)境感知、數(shù)據(jù)采集與精準(zhǔn)控制的核心任務(wù)。安徽蚌埠，這座曾以傳統(tǒng)制造業(yè)聞名的老工業(yè)城市，如今以全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線投產(chǎn)為標(biāo)志，正重構(gòu)中國(guó)智能傳感器產(chǎn)業(yè)版圖。7月4日，中國(guó)發(fā)展改革報(bào)社記者隨“活力中國(guó)調(diào)研行”采訪團(tuán)走進(jìn)中國(guó)（蚌埠）傳感谷，實(shí)地調(diào)研這條驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展的核心產(chǎn)線。

01 自主突破鍛造產(chǎn)業(yè)“芯”基石

“傳感谷內(nèi)51家規(guī)上工業(yè)企業(yè)、200余家產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)聚鏈成群，覆蓋‘研發(fā)—制造—封裝—測(cè)試—應(yīng)用’全鏈條，經(jīng)濟(jì)規(guī)模超百億元?！卑霾航?jīng)開(kāi)區(qū)黨工委書記、管委會(huì)主任陶廣生介紹說(shuō)，從護(hù)航航天工程的尖端科技，到領(lǐng)跑新能源汽車市場(chǎng)的磁電流傳感器，蚌埠用“多鏈融合”的創(chuàng)新生態(tài)，將智能傳感器這一“工業(yè)五官”鍛造成撬動(dòng)千億級(jí)產(chǎn)業(yè)集群的戰(zhàn)略支點(diǎn)。

“我們生產(chǎn)的MEMS晶圓是智能傳感器的‘制造基座’，以前這類晶圓主要依賴進(jìn)口，但是現(xiàn)在隨著我們產(chǎn)線的不斷完善，可以從很大程度上解決國(guó)內(nèi)產(chǎn)能不足的問(wèn)題?！卑不杖A鑫微納集成電路有限公司副總經(jīng)理丁敬秀表示，這條產(chǎn)線集硅基MEMS、壓電MEMS、CMOS-MEMS集成等尖端技術(shù)于一體，預(yù)計(jì)到2025年底月產(chǎn)突破1萬(wàn)片，到2027年達(dá)到月產(chǎn)3萬(wàn)片的規(guī)模。作為智能傳感器的“制造基座”，它已吸引50余家客戶達(dá)成21萬(wàn)片意向訂單，為產(chǎn)業(yè)鏈安全筑牢根基。

安徽華鑫微納集成電路有限公司無(wú)塵生產(chǎn)車間。中國(guó)發(fā)展改革報(bào)社記者 苗露 攝

在蚌埠經(jīng)開(kāi)區(qū)，坐落著國(guó)內(nèi)傳感器領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)——安徽北方微電子研究院（下稱微電子院）。在這里，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)電源電路等“蚌埠造”關(guān)鍵產(chǎn)品，為神舟飛船成功升空保駕護(hù)航。這背后，是400余件發(fā)明專利的技術(shù)支撐，以及國(guó)際先進(jìn)工藝平臺(tái)的堅(jiān)實(shí)保障。作為行業(yè)龍頭，微電子院為蚌埠市傳感器產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展注入了強(qiáng)勁動(dòng)力，發(fā)揮了重要引領(lǐng)作用。

值得一提的是，蚌埠在創(chuàng)新生態(tài)構(gòu)建方面同樣迅猛：精密微納制造技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室長(zhǎng)三角（蚌埠）產(chǎn)教融合協(xié)同中心落戶，39個(gè)省級(jí)以上科創(chuàng)平臺(tái)協(xié)同發(fā)力，中國(guó)傳感谷智能傳感器中試平臺(tái)入選國(guó)家級(jí)中試平臺(tái)重點(diǎn)培育名單，安徽省MEMS研究院一年完成7項(xiàng)國(guó)家級(jí)及省部級(jí)項(xiàng)目驗(yàn)收。

02 產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新激活“聚鏈成群”乘數(shù)效應(yīng)

“產(chǎn)品品種多、企業(yè)規(guī)模小、制造工藝復(fù)雜”，曾是傳感器行業(yè)的痼疾。如何破解？蚌埠的答案是，“政府筑巢，企業(yè)拎包入駐。”

華鑫微納8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線由地方政府主導(dǎo)投建，不僅破解了技術(shù)、資金高度密集的行業(yè)門檻，而且有效解決了智能傳感產(chǎn)業(yè)“有研無(wú)產(chǎn)、有產(chǎn)無(wú)研、研產(chǎn)脫節(jié)”的行業(yè)痛點(diǎn)；經(jīng)開(kāi)區(qū)配套建設(shè)“共享”公共示范線、大宗氣站、污水處理廠、110KV變電站、表面處理中心，降低企業(yè)成本；采用“1+53”聯(lián)動(dòng)發(fā)展模式，政府代建定制化及標(biāo)準(zhǔn)化廠房，企業(yè)可靈活租賃或購(gòu)置。“我們來(lái)建基座，企業(yè)專注創(chuàng)新！”陶廣生道出發(fā)展邏輯。

這一生態(tài)催生“磁吸效應(yīng)”。希磁科技4個(gè)月實(shí)現(xiàn)投產(chǎn)，其新能源汽車電流傳感器市占率超30%，服務(wù)國(guó)內(nèi)光伏與新能源龍頭企業(yè)；芯動(dòng)聯(lián)科成為MEMS慣性傳感器行業(yè)標(biāo)桿，并成功登陸科創(chuàng)板；科友半導(dǎo)體、宏景智駕、中科微感、華安星辰、五芯微等一批新招引企業(yè)相繼落地，集群發(fā)展效益持續(xù)提升。

安徽希磁科技股份有限公司的工作人員在組裝一款傳感器。新華社記者 黃博涵 攝

政策賦能更為產(chǎn)業(yè)注入強(qiáng)心劑。據(jù)介紹，蚌埠設(shè)立總規(guī)模70億元的智能傳感產(chǎn)業(yè)基金，出臺(tái)專項(xiàng)扶持政策，建立省市區(qū)三級(jí)服務(wù)體系，通過(guò)“蚌埠發(fā)布·新媒問(wèn)政”等平臺(tái)實(shí)現(xiàn)企業(yè)訴求秒響應(yīng)。

“加快改變高端智能傳感器依賴進(jìn)口的情形，對(duì)集中精力發(fā)展智能傳感產(chǎn)業(yè)的蚌埠來(lái)說(shuō)，既是挑戰(zhàn)，又是機(jī)遇?！碧諒V生指出。這座老工業(yè)城市以AI時(shí)代感知力為切口，正加速?gòu)摹爸圃旎亍毕颉皠?chuàng)新策源地”躍遷。2024年，中國(guó)傳感谷躋身全國(guó)十大高質(zhì)量MEMS傳感器園區(qū)第六位，比去年前進(jìn)兩個(gè)位次。