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【深度】量子點(diǎn)紅外探測(cè)成像技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)及相關(guān)專利分析


  來源: 電子產(chǎn)品世界 時(shí)間:2024-04-02 編輯:流川
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量子點(diǎn)紅外成像技術(shù)概念


量子點(diǎn)(Quantum dots,QDs)是具有尺寸可調(diào)特征的1-20nm的半導(dǎo)體納米晶體,在可見光和紅外波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有較強(qiáng)的光吸收和明亮的窄帶****。


膠體量子點(diǎn)(Colloidal quantum dot,CQDs),量子限域效應(yīng)明顯,液相加工工藝使得其可以與硅基讀出電路進(jìn)行直接片上耦合,紅外成像器件通過集成探測(cè)紅外光子的紅外探測(cè)器和激發(fā)可見光子的發(fā)光二極管,利用器件內(nèi)光-電-光的線性轉(zhuǎn)換過程,避免了讀出電路和復(fù)雜的電信號(hào)處理過程,能夠直接可視化紅外圖像。


量子點(diǎn)的特性可以通過顆粒大小、材料和成分進(jìn)行調(diào)整。量子點(diǎn)材料包括:Cd(鎘)基、In(銦)基、PbS(硫化鉛)、Perovskite(鈣鈦礦),以及新興的CuInS2(硫銦銅)、InAs(砷化銦)、ZnTeSe(硒鎘汞)。它們具有不同的帶隙,因此具有不同的吸收和****光譜的能力。


在性能與InGaAs芯片相當(dāng)?shù)那疤嵯拢诹孔狱c(diǎn)的成像芯片的成本不到其1%,有望實(shí)現(xiàn)短波紅外成像在消費(fèi)級(jí)領(lǐng)域的應(yīng)用。


量子點(diǎn)紅外成像技術(shù)發(fā)展歷史


?光電導(dǎo)效應(yīng)發(fā)現(xiàn)于1873年的海底電纜絕緣層實(shí)驗(yàn)。1917年,第一個(gè)紅外光電導(dǎo)探測(cè)器被研制出來。


?1981年和1983年,前蘇聯(lián)科學(xué)家Alexei Ekimov和美國(guó)科學(xué)家Louis Brus分別獨(dú)立發(fā)現(xiàn)了半導(dǎo)體納米顆粒的量子尺寸效應(yīng)。


?量子點(diǎn)在光電探測(cè)中的首次嘗試是在 1992 年,當(dāng)時(shí)膠體量子點(diǎn)被視為絕緣膠體,作為一種感光劑應(yīng)用于電子照相技術(shù)中。


?1993年,美國(guó)麻省理工學(xué)院Moungi G. Bawendi教授帶領(lǐng)的研究小組終于取得了重大突破。他們利用熱注入合成法,成功合成了單分散納米粒子,為量子點(diǎn)的大規(guī)模應(yīng)用開發(fā)打開了大門。


?1998 年,量子點(diǎn)紅外探測(cè)器(QDIPs)首次被論證。


?2003年,“固態(tài)配體交換”的方法被提出,為膠體量子點(diǎn)在光電探測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用提供了可能。


?2005年,多倫多大學(xué)Edward H. Sargent教授發(fā)表了第一篇短波紅外膠體量子點(diǎn)混合光探測(cè)器。2009年,西門子和奧地利林茨大學(xué)合作研發(fā)出PbS膠體量子點(diǎn)探測(cè)器。至此開始 PbS CQD 探測(cè)器的研究在近十年的時(shí)間內(nèi)成為該研究領(lǐng)域的新寵。


?2017年,西班牙光子中心的Stijn Goossens課題組通過使用石墨烯及PbS量子點(diǎn)晶體管結(jié)構(gòu),完成了近紅外焦平面陣列制備,陣列規(guī)模388×288,像元間距35μm。


?2022年,華中科技大學(xué)報(bào)道了一種基于PbS量子點(diǎn)的近紅外焦平面陣列,并展示了940nm光照下的成像效果。


?近年來具有優(yōu)異光電性能的量子點(diǎn)材料在硅基探測(cè)器的集成中已經(jīng)有了一定的成果,為硅基探測(cè)器性能的提升提供了新的思路。雖然量子點(diǎn)增強(qiáng)硅基探測(cè)器已經(jīng)收獲較好的效果,但仍存在一些機(jī)遇與挑戰(zhàn)。例如專用材料缺乏,存在集成工藝問題以及需要開發(fā)與之匹配的先進(jìn)的成像算法等。


量子點(diǎn)紅外技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀


1、中美是量子點(diǎn)紅外成像領(lǐng)域的主要目標(biāo)市場(chǎng)國(guó)


紅外成像技術(shù)應(yīng)用非常廣泛,而量子點(diǎn)紅外成像將極大地?cái)U(kuò)展其應(yīng)用可能,近年來呈現(xiàn)快速發(fā)展的態(tài)勢(shì)。


根據(jù)相關(guān)專利數(shù)據(jù)(申請(qǐng)年2005以后),將量子點(diǎn)應(yīng)用于紅外探測(cè)的技術(shù)從2005開始興起,最早開始布局且為該領(lǐng)域TOP1的申請(qǐng)人InVisage公司,隨后呈現(xiàn)較為穩(wěn)定的增長(zhǎng)趨勢(shì);2011年左右數(shù)量激增,在2019-2020年左右,部分歐美相關(guān)技術(shù)企業(yè)已經(jīng)完成專利布局,專利申請(qǐng)數(shù)量略有下降。


隨著中國(guó)加入該項(xiàng)技術(shù)的投入和研究中,該領(lǐng)域的中國(guó)申請(qǐng)人近幾年的相關(guān)專利布局量整體呈現(xiàn)較為明顯的增長(zhǎng),說明該領(lǐng)域的主要申請(qǐng)人仍十分注重該領(lǐng)域相關(guān)技術(shù)的研發(fā)和專利布局。


圖1:申請(qǐng)人排名分析


該領(lǐng)域中,國(guó)外申請(qǐng)人擁有較多早期專利申請(qǐng),相對(duì)國(guó)內(nèi)具備一定的領(lǐng)先能力。


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