8月24日,央視《新聞聯(lián)播》報(bào)道了松山湖材料實(shí)驗(yàn)室國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀等產(chǎn)品的情況,該產(chǎn)品已由安徽澤攸科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“澤攸科技”)完成產(chǎn)業(yè)化并量產(chǎn)出貨,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域的空白。
據(jù)了解,澤攸科技JS系列高精度臺(tái)階儀是公司自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀。目前為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)技術(shù),突破核心技術(shù)-大行程超精密平面掃描-70 mm,優(yōu)于20 nm/2 mm;大帶寬大行程納米微動(dòng)臺(tái)-80 μm,10 kHz;超微壓力恒定控制,0.5 mN-15 mN,打破了國(guó)外壟斷的局面,是半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中不可或缺的一環(huán)。
澤攸科技還擁有包括PicoFemto系列原位TEM/SEM測(cè)量系統(tǒng)、ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡、納米位移臺(tái)等在類的多個(gè)產(chǎn)品線,在國(guó)內(nèi)外均獲得了高度關(guān)注。未來,公司將繼續(xù)加大研發(fā)投入,努力研制出更多世界一流的精密科學(xué)儀器,為我國(guó)科技進(jìn)步和經(jīng)濟(jì)發(fā)展做出更大貢獻(xiàn)。