Omnitron的3D MEMS設(shè)計方案基于簡單而穩(wěn)健的晶圓制造工藝

精度和可靠性也是Omnitron技術(shù)的關(guān)鍵。Aguilar說：“如果我們讓掃描鏡指向三度角，那它就真的可以精確指向三度角。我們在平面上構(gòu)建了隔離層，使我們能夠?qū)Ⅱ?qū)動能量與傳感機(jī)制分離。這意味著沒有驅(qū)動信號耦合到傳感信號中，從而避免影響數(shù)據(jù)?！彼f，這些都已經(jīng)通過制造得到了驗證。

實(shí)現(xiàn)可靠校準(zhǔn)

Omnitron的3D MEMS技術(shù)的另一個特點(diǎn)是能夠確?？煽康男?zhǔn)。這是由其選擇的驅(qū)動方案實(shí)現(xiàn)的。Aguilar說：“我們構(gòu)建的馬達(dá)執(zhí)行器采用靜電驅(qū)動原理?！?

Aguilar解釋稱，MEMS驅(qū)動通常有三種方法，包括靜電、電磁或壓電方案?！拔覀儾捎渺o電方案主要是為了在溫度范圍內(nèi)保持線性，靜電驅(qū)動系統(tǒng)的精妙在于它們可以非常線性的隨溫度膨脹和收縮，具有確定性，因而易于校準(zhǔn)?！?

Aguilar說，電磁或壓電等其他替代技術(shù)的問題是，對溫度有滯后響應(yīng)。這意味著器件的溫度曲線在溫度上升和溫度下降時是不同的。這會在性能中產(chǎn)生嚴(yán)重誤差，從而影響校準(zhǔn)。

面向下一代設(shè)計的新型MEMS拓?fù)?/strong>