東南大學(xué)依托電子科學(xué)與工程學(xué)院電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)科，并結(jié)合工程力學(xué)、機(jī)械、材料、物理等相關(guān)優(yōu)勢(shì)學(xué)科，組建了MEMS研究機(jī)構(gòu)。實(shí)驗(yàn)室是國(guó)家211工程、985工程重點(diǎn)建設(shè)部門(mén)，擁有具備國(guó)際先進(jìn)水平的研究設(shè)施。近3年，實(shí)驗(yàn)室先后承擔(dān)了國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)家973計(jì)劃、國(guó)家重大科研儀器研制、國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目、教育部及地方政府等一大批重大科研項(xiàng)目，并取得一系列原創(chuàng)性重大成果。

主要研究團(tuán)隊(duì)：

黃慶安教授（長(zhǎng)江學(xué)者，IEEE Fellow），實(shí)驗(yàn)室的研究方向包括風(fēng)速風(fēng)向傳感器、氣象傳感器、無(wú)源無(wú)線傳感器等多種MEMS傳感器的設(shè)計(jì)與加工制作。

秦明教授：主要研究MEMS流量、風(fēng)速、氣壓等傳感器。

廖小平教授：主要研究基于RF MEMS技術(shù)的微波通訊信號(hào)的功率、相位和頻率的集成檢測(cè)系統(tǒng)，以及微型能量收集等方面的設(shè)計(jì)理論和實(shí)現(xiàn)方法研究。

尚金堂教授：的研究方向包括芯片級(jí)原子/量子器件以及微半球諧振器。

黃曉東教授：主要研究微能源器件與信息存儲(chǔ)器件。

竇廣彬教授：主要研究MEMS重力梯度及慣導(dǎo)傳感，NEMS石墨烯位移傳感，機(jī)械量子傳感系統(tǒng)。

周再發(fā)教授：主要研究MEMS材料參數(shù)在線測(cè)試技術(shù)與MEMS設(shè)計(jì)軟件開(kāi)發(fā)。

官網(wǎng)：https://mems.seu.edu.cn/

6、浙江大學(xué)

主要研究方向：生物傳感器、嗅覺(jué)和味覺(jué)生化傳感器、光纖傳感器

主要研究單位：生物傳感器技術(shù)國(guó)家專業(yè)實(shí)驗(yàn)室、現(xiàn)代光學(xué)儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

浙江大學(xué)生物傳感器技術(shù)國(guó)家專業(yè)實(shí)驗(yàn)室是世界銀行“重點(diǎn)學(xué)科發(fā)展項(xiàng)目”貸款資助的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室，于1991年成立。主要研究和開(kāi)發(fā)生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中的傳感器和檢測(cè)技術(shù)，兼顧其他相關(guān)行業(yè)的傳感器及檢測(cè)技術(shù)。

浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室始建于1989年，1995年建成并通過(guò)國(guó)家驗(yàn)收。實(shí)驗(yàn)室的定位為：以發(fā)展現(xiàn)代光學(xué)成像與傳感技術(shù)為主旨，圍繞國(guó)家重大需求，結(jié)合光學(xué)工程與光子學(xué)前沿技術(shù)，引領(lǐng)光學(xué)儀器相關(guān)研究與產(chǎn)業(yè)發(fā)展，建設(shè)國(guó)際一流的光學(xué)儀器研究和人才培養(yǎng)基地。

官網(wǎng)：

http://www.moi-lab.zju.edu.cn/

7、上海交通大學(xué)

主要研究方向：MEMS技術(shù)的微慣性器件、微飛行器、微安全保證系統(tǒng)、微表面應(yīng)力傳感器、微流控生化芯片、新型傳感器、光電與視覺(jué)檢測(cè)、生物醫(yī)學(xué)感知等

主要研究院系：微納電子學(xué)系

主要研究單位：微系統(tǒng)集成研究所、儀器科學(xué)與工程系現(xiàn)代傳感器與光電檢測(cè)研究室、通用MEMS技術(shù)實(shí)驗(yàn)室、EE-MEMS實(shí)驗(yàn)室、微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（上交分部）

微系統(tǒng)集成研究所研究方向涵蓋控制、機(jī)械、電子、材料、生物等領(lǐng)域。在微慣性器件方面，研究重點(diǎn)為靜電懸浮微陀螺、靜電懸浮微加速度計(jì)以及固體模態(tài)振動(dòng)微陀螺等，微表面應(yīng)力傳感器包括微剪切應(yīng)力傳感器、微脈動(dòng)壓力傳感器等。

現(xiàn)代傳感與光電檢測(cè)研究室隸屬于上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院儀器科學(xué)與工程系，主要致力于新型傳感器、光電與視覺(jué)檢測(cè)、生物醫(yī)學(xué)感知等方面的科學(xué)研究，具有多項(xiàng)國(guó)際首創(chuàng)的科研成果，部分技術(shù)水平處于國(guó)際領(lǐng)先。

官網(wǎng)：

https://microsystem.sjtu.edu.cn/index.html

8、電子科技大學(xué)電子科學(xué)技術(shù)發(fā)展研究院

主要研究方向：氣濕敏傳感器、光電傳感器、力敏傳感器、柔性傳感器等

主要研究單位：薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、光電探測(cè)與傳感集成技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室于2006年7月經(jīng)科技部批準(zhǔn)建設(shè)，實(shí)驗(yàn)室緊密結(jié)合電子信息系統(tǒng)微小型化和單片集成的重大需求，重點(diǎn)圍繞電子功能材料的薄膜化和電子器件的集成化開(kāi)展基礎(chǔ)、應(yīng)用基礎(chǔ)與工程應(yīng)用的研究。