氦質(zhì)譜檢漏儀是一種常用于檢測真空系統(tǒng)或密封系統(tǒng)中微小氣體泄漏的儀器。其原理是利用氦氣的低相對原子質(zhì)量和極低的自然存在量，使得它成為檢測微小氣體泄漏的理想選擇。以下是氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理、作用和使用方法：

原理：

1. 泄漏檢測：在被測系統(tǒng)內(nèi)充入氦氣，若存在泄漏，氦氣將從泄漏處逸出到外部環(huán)境中。
2. 氦氣進樣：泄漏氦氣通過進樣系統(tǒng)進入質(zhì)譜檢測器。
3. 質(zhì)譜檢測：氦氣分子在電場作用下被電離并產(chǎn)生碎片離子，這些離子根據(jù)質(zhì)量電荷比（m/z）被分離和檢測，進而確認泄漏位置和大小。

作用：

1. 精確檢測泄漏：能夠檢測到微小至10^-12 mbar·L/s的氣體泄漏。
2. 定位泄漏點：通過檢測氦氣濃度高低來確定泄漏位置。
3. 質(zhì)譜分析：可對檢測到的氣體成分進行分析，了解泄漏物質(zhì)的性質(zhì)。

使用方法：

1. 準備工作：連接氦氣罐和被測系統(tǒng)，打開氦氣供應，保證系統(tǒng)處于真空狀態(tài)。
2. 設定參數(shù)：設定質(zhì)譜儀的檢測參數(shù)，如離子源溫度、電子能量等。
3. 開始檢測：將氦氣充入系統(tǒng)，打開檢測儀器，開始檢測泄漏。
4. 分析結(jié)果：根據(jù)質(zhì)譜檢測結(jié)果，確定泄漏位置和大小。
5. 修復泄漏：根據(jù)泄漏位置修復系統(tǒng)，再次進行檢測確認泄漏問題已解決。

使用氦質(zhì)譜檢漏儀需要一定的專業(yè)知識和技能，操作時需要注意安全，并嚴格按照操作手冊進行操作。