維薩拉半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S

適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量

該折光儀外形緊湊，流通池采用改良超純 PTFE 制成，適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量?？赏ㄟ^ ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴(kuò)口 Flare 連接。

維薩拉半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于晶圓潔凈室里的化學(xué)品濃度監(jiān)測，通常被安裝在混合、清洗、蝕刻和 (CMP) 等機(jī)臺上。

PR-33-S 包含一個(gè)超純改性 PTFE 流通池主體和一根以太網(wǎng)線，不同標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)供電 (PoE) 開關(guān)均可通過以太網(wǎng)線向傳感器供電，并將數(shù)據(jù)傳輸給計(jì)算機(jī)。PR-33-S 實(shí)時(shí)監(jiān)測化學(xué)品濃度，當(dāng)化學(xué)品濃度超出規(guī)定范圍時(shí)，立即通過以太網(wǎng)反饋報(bào)警。例如，可通過配置低濃度和高濃度警報(bào)來控制和延長溶液使用壽命。這里的濃度通過對溶液折射率 nD 和溫度測量來確定。

PR-33-S 直接通過喇叭形或pillar配件進(jìn)行安裝。PR-33-S 結(jié)構(gòu)緊湊，不含金屬，體積小。

關(guān)鍵要素：

? N.I.S.T. 標(biāo)準(zhǔn)下的可追溯校準(zhǔn)及驗(yàn)證，采用標(biāo)準(zhǔn)折射率液體和驗(yàn)證程序進(jìn)行驗(yàn)證。

? 光學(xué)核心設(shè)計(jì)。

? 通過以太網(wǎng)進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程界面操作。

? 標(biāo)準(zhǔn) UDP/IP 通信。

? 過程溫度范圍：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。

? 內(nèi)置 Pt1000 快速溫度測量及自動(dòng)溫度補(bǔ)償 。