(2）能夠檢測硅片各種缺陷，包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP；
(3）檢測效率：3000片/小時(shí)；（4）進(jìn)料機(jī)構(gòu)采用物料籃（花籃）自動(dòng)進(jìn)料，物料籃必須與設(shè)備配套使用，人工將物料籃安裝到設(shè)備進(jìn)料口，安裝過程應(yīng)簡單快捷；
（5）合格標(biāo)準(zhǔn)可設(shè)定，以適應(yīng)區(qū)分不同的質(zhì)量級別；
（6）具備硅片分選功能。一個(gè)分選模塊有6個(gè)分選工位，各工位的分選標(biāo)準(zhǔn)可以自定義，既可以將每個(gè)分選工位設(shè)置成一種缺陷的幾個(gè)等級（等級劃分由客戶自定義，但不可超過6級），也可以將每個(gè)分選工位設(shè)置成幾種不同的缺陷（最多設(shè)置6種缺陷）?？蛻艨稍O(shè)置缺陷種類的優(yōu)先級，若硅片上具有兩種或多種缺陷時(shí)按照客戶定義的優(yōu)先級進(jìn)行分選；如果認(rèn)為6個(gè)分選工位不能滿足使用要求，則可以購買多臺分選模塊；
（7）上、下料及檢測過程中防止硅片碰傷與損壞，碎片率要求<0.1%；可以進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、統(tǒng)計(jì)、分析、查詢及圖表繪制等。配備網(wǎng)絡(luò)接口，可以進(jìn)行測量設(shè)備現(xiàn)場聯(lián)網(wǎng)統(tǒng)一控制管理。測量結(jié)果能夠打印輸出；
（8）設(shè)備具備安全防護(hù)功能，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)保護(hù)。配備急停裝置，發(fā)生緊急情況時(shí)可立即停止設(shè)備，防止意外傷害；
（9）采用模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)和維修。
【解決方案價(jià)值對照表】
【應(yīng)用擴(kuò)展】
此解決方案經(jīng)適量修改，也可適用于太陽能電池板、多晶硅、單晶硅檢測等。
