5月9日，由四川省科技廳推薦，四川云盾光電科技有限公司牽頭，并聯(lián)合四川大學(xué)共同承擔(dān)的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“智能傳感器”重點(diǎn)專項(xiàng)“基于氮化鋁鈧壓電諧振式MEMS微振鏡的小型化環(huán)境感知傳感器開發(fā)”項(xiàng)目在成都雙流正式啟動(dòng)，并成功召開實(shí)施方案論證會(huì)。

會(huì)議邀請(qǐng)了華中科技大學(xué)段國(guó)韜教授、蘇州大學(xué)孫旭輝教授、電子科技大學(xué)陳懷新教授、電子科技大學(xué)李沫教授、中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所嚴(yán)偉研究員、中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院湯江文正高級(jí)工程師等9名專家進(jìn)行論證指導(dǎo)。

項(xiàng)目針對(duì)激光雷達(dá)精度偏低、垂直視野小、組件多、尺寸大難以滿足機(jī)器人工業(yè)安全領(lǐng)域?qū)ο到y(tǒng)小型集成化和近距離高精度檢測(cè)需求問題，突破單微鏡雙軸大扭轉(zhuǎn)輸出及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、微鏡元件穩(wěn)定控制、基于涂層技術(shù)的高可靠性微鏡制備等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)小體積、高頻、大驅(qū)動(dòng)角、低成本微鏡元件，研制小型化振鏡式準(zhǔn)固激光雷達(dá)系統(tǒng)，在零件拾取、避障、防碰等機(jī)器人工業(yè)安全領(lǐng)域應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)技術(shù)驗(yàn)證。專家組聽取了項(xiàng)目組實(shí)施方案匯報(bào)，經(jīng)質(zhì)詢討論，認(rèn)為實(shí)施方案科學(xué)合理，路線具體明確，項(xiàng)目牽頭單位職責(zé)明確，各項(xiàng)機(jī)制齊全，具有較強(qiáng)的可實(shí)施和可操作性，一致建議通過該實(shí)施方案。項(xiàng)目的成功實(shí)施將推動(dòng)微鏡核心敏感元件的國(guó)產(chǎn)化和工業(yè)應(yīng)用。

云盾光電是位于成都市雙流區(qū)西航港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、四川省“專精特新”企業(yè)，主要為高可靠級(jí)應(yīng)用場(chǎng)景及半導(dǎo)體裝備行業(yè)提供關(guān)鍵部組件及分系統(tǒng)，包括高精度光電位移傳感器、空心杯伺服電機(jī)、集成化高精度光電伺服轉(zhuǎn)臺(tái)及運(yùn)動(dòng)控制裝備。2024年獲批成都市中試平臺(tái)（MEMS 及微光學(xué)器件產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域），為行業(yè)提供微光機(jī)電系統(tǒng)集成服務(wù)。